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研究分野:電子工学分野 研究グループ一覧
最終更新日:2017年7月

講座

研究グループ

担当教員

研究内容

集積プロセス

教授 豊田 浩孝

教授 豊田 浩孝

助教 鈴木陽香

助教 鈴木 陽香

本研究室は、新しいアイデアに基づくプラズマ装置の開発と応用分野への展開を進めています。

プラズマ産業応用 / プラズマ装置開発 / 材料創成 / プラズマ環境技術

新規アイデアに基づくスパッタ装置
メートル級プラズマ生成装置
教授 堀 勝

教授 堀 勝

特任教授 石川健治

特任教授 石川 健治

准教授  近藤 博基

准教授 近藤 博基

助教 堤 隆嘉

助教 堤 隆嘉

最先端プラズマナノ科学技術で拓く、環境・医療イノベーション

薄膜シリコン太陽電池 / カーボン太陽電池 / GaNパワーデバイス / 3色発光LED / プラズマ医療科学 / プラズマ滅菌・殺菌 / 農業・環境応用(小型成分分析装置) / プラズマ気相診断 / 新規プラズマ源開発

超高密度プラズマ源(上三図)
小型ラジカルモニタ(下図)
プラズマプロセスによるカーボンナノ材料の合成(上左図)・ナノメータ加工(上右図)・プラズマ処理によるカーボンナノウオール表面の超親水性?超撥水性制御(下左図)・プラズマ照射による卵巣癌細胞のアポトーシス誘起(下右図)
教授 川瀬 晃道

教授 川瀬 晃道

講師 竹家 啓

講師 竹家 啓

未来をつくる光、テラヘルツ波の最先端グループ

テラヘルツ波光源 / テラヘルツイメージング / 生体とテラヘルツ / テラヘルツセンシング / テラヘルツ分光

光注入型テラヘルツ波パラメトリック発生器: 自由電子レーザーを超える100kWの世界最高輝度を卓 上サイズで達成。テラヘルツ分光器としても10桁の高ダイナミックレンジを実現。
テラヘルツ光を用いた郵便物中の禁止薬物の非破壊検査: 我々が開発したテラヘルツ分光イメージ ングにより、封筒などに隠した薬物を検出可能。税関や国際郵便局などから期待されている新技術。

情報デバイス

シリコンCMOS集積回路をベースとした新しい電子情報デバイスの創出 ーバイオ工学と電子情報工学の融合をめざしてー

シリコン集積回路工学 / 物質化学−半導体融合 / バイオエレクトロニクス / ライフイノベーション / オンチップ電気化学計測 / 医療応用LSI / DNA・タンパク質検出LSI

化学集積回路:物質化学と半導体とを融合した化学集積回路はユビキタス情報社会のベースとなる
DNAの塩基配列を検出するバイオセンサ集積回路:1チップ上で100万のバイオ反応をリアルタイムに検出するための基盤技術を開発中である
准教授 内山 剛

准教授 内山 剛

スマホから先端医療まで - 世界に羽ばたくマイクロ磁気センサ-

マイクロ磁気センサ / MI素子 / ITS / トラフィックカウンタ / バイオセンシング / 医用センシングシステム

超高感度マイクロ磁気センサ:MI素子を利用した超高感度マイクロ磁気センサは、先端医用計測やITS分野での応用が期待されています。
MIセンサを用いた電子コンパス:携帯電話及びスマートフォンに搭載される地磁気検出用のMIセンサが実用化されています。センサを組み合わせることで、3次元電子コンパスとして動作します。
教授 須田 淳

教授 須田 淳

電気・電子機器の省エネ実現に貢献する、新規半導体材料を用いた次世代パワーデバイスの研究を行っています。材料科学や固体物理学に関する基礎研究からデバイスの設計、性能評価という応用的な研究まで幅広く行っています。

ワイドギャップ半導体 / パワーデバイス / 電子デバイス / 半導体欠陥物理・欠陥制御 / デバイス作製プロセス / デバイスシミュレーション / 厳環境デバイス

温度可変磁場変調ホール効果測定装置 温度可変磁場変調ホール効果測定装置
デバイスシミュレーションによる高性能パワーデバイスの設計 デバイスシミュレーションによる高性能パワーデバイスの設計

量子デバイス

量子光エレクトロニクスの先端技術であるレーザーは,様々な基礎研究から産業・医療まで幅広い分野で活用されており,更なる新しい応用技術の開発が期待されています。本研究室では,最先端のレーザー光源を開発し,時間幅の非常に狭い超短パルス光を自在に操り,更なる新しい技術を創造します。

レーザー / 光ファイバ / 超短パルス / 超広帯域光源 / 3次元光断層計測 / ファイバレーザー / 医用光学・光計測 / 光エレクトロニクス

光ファイバを用いた超広帯域光の生成。
超広帯域光を用いて観測した豚の気管組織の超高分解能3次元断層イメージ
教授 藤巻 朗

教授 藤巻 朗

准教授 山下 太郎

准教授 山下 太郎

助教 田中 雅光

助教 田中 雅光

物理限界に迫るサブテラヘルツ低消費電力超伝導エレクトロニクスの創製

ジョセフソン接合 / 単一磁束量子回路 / 高温超伝導ナノブリッジ / 超伝導スピンデバイス / 高感度センサシステム / 次世代スーパーコンピュータ

次世代スーパーコンピュータに向けて試作した超伝導集積回路チップ。50 GHzで動作する16個の演算器を搭載しています。
高温超伝導体(YBCO)を用いて作製したナノブリッジデバイス。数十ナノメートル幅の微細なくびれ構造を作ることで、スイッチとして機能します。
教授 宮崎 誠一

教授 宮崎 誠一

准教授 牧原 克典

准教授 牧原 克典

助教 大田晃生

助教 大田 晃生

・自分への投資、精一杯取り組んで実りあるものに!
・引かれたレールの上を走るのではなくて、自分でレールを引いて活路を見出す!
目的意識をもってあれこれやっているうちに、何か新しい事に出くわしたり、気付いたりします。これまでの知識を枠を一歩二歩踏み出して、新たな物に挑戦し、ステップアップして下さい。

シリコン系量子ドット / 金属ドット / スーパーアトム / ゲート絶縁膜 / 新材料探索 / 高結晶性IV半導体薄膜 / 原子スケール界面制御 /フローティングゲート / 抵抗変化メモリ / 新機能デバイス / 発光デバイス / 太陽電池 / 薄膜トランジスタ / 化学気相堆積法 / プラズマ

量子ドット形成装置
Si量子ドットフローティングゲートMOFETで構成した多ビット一括コンパレータの模式図

電子線応用工学・ナノ電子デバイス未来材料・システム研究所・協力講座)

教授 岩田 聡

教授 岩田 聡

准教授 加藤 剛志

准教授 加藤 剛志

助教 大島 大輝

助教 大島 大輝

ナノ磁性材料の開発と応用,電子のもつスピン情報を利用する新しいナノデバイスの研究

ナノマグネティックス / 情報ストレージ / スピンエレクトロニクス / 固体磁気メモリ / マイクロ磁気センサ/ 磁気を利用したエネルギーデバイス

[8元スパッタリング装置]
スパッタリング現象を利用して、ナノメートルの厚さの薄膜を作製する。真空チャンバには、8種類の材料を装着でき、多種類の材料を積層したスピンデバイスのための多層構造膜を成膜できる。
[交番磁界型磁力計]
磁性薄膜のヒステリシス曲線を高い感度で測定することができる。
教授 天野 浩

教授 天野 浩

准教授 本田 善央

准教授 本田 善央

助教 出来 真斗

助教 出来 真斗

助教 久志本真希

助教 久志本 真希

化合物半導体における新物性探索・新機能発現

省・創エネルギー / 量子効果と新機能 / 窒化物半導体 / 化合物半導体 / 結晶成長 / 発光・電子デバイス / ナノデバイス / 太陽電池 / LED / レーザダイオード / パワーデバイス

青色LED
高効率窒化物半導体緑色LEDの開発

電子線応用工学

准教授 長尾全寛

准教授 長尾 全寛

電場や磁場をナノスケール分解能で直接観察可能な電子線ホログラフィー技術を含む、先端的物性解析技術を用い、基礎的物性研究に立脚した新機能デバイスの研究を行っています。

ナノスケール電場・磁場解析技術/原子スケール電子構造解析技術/界面物性制御/結晶材料物性制御/新機能デバイス・材料研究開発

動作状態の微細Siトランジスタ中の電位分布。電位分布を色分けで示す。ソースとドレインには、Si結晶中に微量の不純物を拡散させてあり、不純物が作る電位分布が観察されている。さらに、ドレインにかけた電圧 (Vd<0)により、ソースからドレインにかけて電位分布が形成されている様子が明瞭に観察される。
教授 大野 雄高

教授 大野 雄高

助教 岸本 茂

助教 岸本 茂

助教 廣谷 潤

助教 廣谷 潤

カーボンナノチューブなどの新規ナノ材料の特異な物性を活かして,人体や生体組織と調和するフレキシブルデバイスやバイオ・医療デバイスなどの創出に取り組んでいます。

ナノ材料 / カーボンナノチューブ / 原子層材料 / ナノデバイス / フレキシブルデバイス / バイオセンサ / 環境調和型プロセス / 印刷プロセス

透明なプラスチックに作製した世界初のカーボンナノチューブ集積回路。従来のシリコンを用いた半導体とは異なり、軽量で柔軟性をもちます。
カーボンナノチューブを用いて作製したバイオセンサー。ドーパミン(中枢神経系に存在する神経伝達物質)を高感度に検出できる。