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実験設備
学生実験
実験設備
大学内には様々な実験設備がありますが、特徴的な設備を紹介します。
- プラズマモニタリング装置を備えたマグネトロンスパッタリングシステム
- クリーンルーム
- 磁性薄膜を成膜するためのスパッタリング装置、真空蒸着装置，微細加工のためのフォトリソグラフィ装置、イオン・エッチング装置などが設置されている。
- 交流大電流発生装置
- 10kA，60Hzの大電流を発生できる。日本での大学ではトップクラスの装置である。
■その他
- 高性能超高圧電子顕微鏡
- 超高圧電子顕微鏡施設
