磁性薄膜の表面形状を測定します．高倍率（約10万倍）での観測が可能です．
装置仕様
[走査電子顕微鏡] JEOL製 JSM-6301FS 加速電圧：0.5〜30 kV エミッタ：W(310) ビーム径：1.5 nm (15 kV), 5.0 nm (1 kV) [エネルギー分散型X線分光装置] JEOL製 JED-2300 (ミニカップEDS） 検出元素：Na〜U エネルギー分解能：144 eV以下
[走査電子顕微鏡] JEOL製 JSM-6301FS 加速電圧：0.5〜30 kV エミッタ：W(310) ビーム径：1.5 nm (15 kV), 5.0 nm (1 kV)
[エネルギー分散型X線分光装置] JEOL製 JED-2300 (ミニカップEDS） 検出元素：Na〜U エネルギー分解能：144 eV以下
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