教員: 田畑彰守 (准教授) 研究テーマ ・アモルファスおよび微結晶シリコン薄膜の開発 ・ナノ結晶炭化シリコン薄膜の開発 −作成法− ・ホットワイヤー化学気相成長法(HW-CVD法) ・マグネトロンスパッタリング法 −応用例− ・太陽電池 ・薄膜型トランジスター など Cat-CVD(HW-CVD)研究会