電気工学分野

エネルギーシステム講座
機能電気・情報材料グループ


無機デバイス研究室


所属学生・院生発表論文学会発表など

教員: 田畑彰守 (准教授)

研究テーマ
・アモルファスおよび微結晶シリコン薄膜の開発とデバイス応用
・低温形成ナノ結晶炭化シリコン薄膜の開発とデバイス応用
・水素ラジカル処理によるデバイス特性の向上に関する研究
・N2-ホットワイヤー法によるパッシベーションおよび絶縁層形成
・ラジカル方を併用した機能性薄膜作製技術の開発


−薄膜作製方法−
 ・ホットワイヤー化学気相成長(HW-CVD)法
 ・プラズマ化学気相成長法(PE-CVD)法
 ・マグネトロンスパッタリング(MS)法

 −応用例−
 ・太陽電池
 ・薄膜型トランジスター など



Cat-CVD(HW-CVD)研究会


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