電気工学専攻
電気エネルギー講座
電気エネルギー変換工学
エネルギー変換用薄膜材料
教員： 田畑彰守 （准教授）
研究テーマ
・アモルファスおよび微結晶シリコン薄膜の開発とデバイス応用
・低温形成ナノ結晶炭化シリコン薄膜の開発とデバイス応用
・水素ラジカル処理によるデバイス特性の向上に関する研究
・N2-ホットワイヤー法によるパッシベーションおよび絶縁層形成
・ラジカル方を併用した機能性薄膜作製技術の開発
−薄膜作製方法−
・ホットワイヤー化学気相成長（HW-CVD）法
・プラズマ化学気相成長法（PE-CVD)法
・マグネトロンスパッタリング（MS）法
−応用例−
・太陽電池
・薄膜型トランジスター など
Cat-CVD（HW-CVD）研究会
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