電気工学分野

エネルギーシステム講座
機能電気・情報材料グループ


無機デバイス研究室


教員: 田畑彰守 (准教授)


研究テーマ
・アモルファスおよび微結晶シリコン薄膜の開発
・ナノ結晶炭化シリコン薄膜の開発

 −作成法−
 ・ホットワイヤー化学気相成長法(HW-CVD法)
 ・マグネトロンスパッタリング法

 −応用例−
 ・太陽電池
 ・薄膜型トランジスター など

 
 

Cat-CVD(HW-CVD)研究会



電気系3専攻ホームページへ
所属学生 発表論文 学会発表等 卒業・修士論文