Cat-CVD研究会


第7回Cat-CVD研究会
　平成22年6月18日（金）−19日（土）、静岡大学浜松キャンパス


第6回Cat-CVD研究会
　平成21年6月19日（金）−20日（土）、石川県立音楽堂
　−発表論文−
　　・N₂ガスを用いたホットワイヤー化学気相法による微結晶シリコン薄膜への
　　　窒化層形成

第5回Cat-CVD研究会
　平成20年6月20日（金）−21日（土）、神奈川工科大学
　−発表論文−
　　・N₂ガスをドーピング原料としたn型ナノ結晶3C-SiC薄膜の開発
　　・ホットワイヤーによるN₂ガスの分解

第4回Cat-CVD研究会
　平成19年6月29日（金）−30日（土）、北九州市立男女参画センター”ムーブ”
　−発表論文−
　　・フィラメント基板間距離を変えて作製したCat-CVD法による
　　　ナノ結晶3C-SiC薄膜の膜特性

第3回Cat-CVD研究会
　平成18年6月23日（金）−24日（土）、長岡技術科学大学
　−発表論文−
　　・Cat-CVD法によるナノ結晶SiC薄膜作製時のガス圧力の与える影響

第2回Cat-CVD研究会
　平成17年6月23日（木）−24日（金）、大阪市立大学
　−発表論文−
　　・CH₄を炭素源に用いたCat-CVD法によるナノ結晶SiC薄膜の作製

第1回Cat-CVD研究会
　平成16年5月20日（木）−21日（金）、財団法人石川県地場産業振興センター
　−発表論文−
　　・メタンを炭素源として用いたHW-CVD法によるワイドバンドギャップ
　　　炭化シリコン薄膜の作成