名古屋大学大学院 工学研究科 電子工学専攻 未来エレクトロニクス創造講座 プラズマエレクトロニクスグループ
豊田研究室
当研究室ではプラズマプロセス技術の開発と向上を進める研究を行なっています
■ 研究実績
>>2024年
>>2023年
>>2022年
>>2021年
>>2020年
>>2019年
>>2018年
>>2017年
>>2016年
>>2015年
>>2014年
>>2013年
>>2012年
>>2011年
◆ 2024年
学術論文・解説
| 1 | S. Kuboi, H. Kato, Y. Akatsuka, H. Suzuki, and H. Toyoda "Time-varying mechanism of ion composition in a pulse-modulated Ar/C4F8/O2 dual-frequency capacitively coupled plasma" Japanese Journal of Applied Physics 63 (2024) 016001. |
国際会議発表
| 1 | Haruhito Kato, Shuichi Kuboi, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda "Ion composition in Ar/C4F8/O2 pulsed capacitively-coupled plasma evaluated using ion production rates from time-resolved electron density measurements" ISPlasma2024/IC-PLANTS2024 |
| 2 | Kengo Yunoki, Haruka Suzuki, Kensuke Sasai, Suguru Masuzaki, Hiromi Hayashi,Takanori Murase, Sho Nakagawa, Yuto Yanagihara, Hirotaka Toyoda "Swirl flow introduction for stabilized discharge in a liquid-flow plasma system" ISPlasma2024/IC-PLANTS2024 |
国内会議・研究会発表
| 1 | aouthor "Title" Conference |
表彰
| 1 | 豊田浩孝 第25回プラズマ材料科学賞基礎部門賞 |
◆ 2023年
学術論文・解説
| 1 | S. Kuboi, H. Kato, Y. Seki, H. Suzuki, and H. Toyoda "Mass spectroscopic measurement of time-varying ion composition in a pulse-modulated Ar/C4F8/O2 dual-frequency capacitively coupled plasma" Japanese Journal of Applied Physics 62 (2023) SI1003. |
| 2 | T. N. Tran, M. Hu, T. Ogasawara, Y. Iwata, H. Suzuki, J. Sakamoto, M. Akiyoshi, H. Toyoda, and H. Matsuura "Polyvinyl alcohol-potassium iodide gel probe to monitor the distribution of reactive species generation around atmospheric-pressure plasma jet" Plasma Science and Technology 25 (2023) 035404. |
国際会議発表
| 1 | Taina Ogawa, Yuki Iwata, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda "Microwave plasma production under air-flow-induced reduced pressure" ISPlasma2023/IC-PLANTS2023, 06P-P1-04 |
| 2 | Kota Tamura, Junichi Miyazawa, Suguru Masuzaki, Masayuki Tokitani, Yukinori Hamaji,Hirotaka Toyoda "Atomic composition of droplet ejected from liquidized Sn-Bi-Li-Er alloy under hydrogen plasma exposure" ISPlasma2023/IC-PLANTS2023, 06P-P1-10 |
| 3 | Ikumi Hamaguchi, Kensuke Sasai, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda "Power absorption of high negative pulse power to an electron cyclotron plasma" ISPlasma2023/IC-PLANTS2023, 06P-P1-12 |
| 4 | Haruhito Kato, Yuto Seki, Shuichi Kuboi, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda "Time Variation of Ion Composition in Dual-frequency Capacitively-Coupled Ar/C4F8/O2 Pulsed Plasma" ISPlasma2023/IC-PLANTS2023, 06P-P1-18 |
| 5 | Kenta Harada, Manabu Kyuzo, Satoshi Ohdachi and Hirotaka Toyoda "Development of a tomography calculation code for three-dimensional emission profile reconstruction" ISPlasma2023/IC-PLANTS2023, 07P-P1-05 |
| 6 | Kengo Yunoki, Haruka Suzuki, Kensuke Sasai and Hirotaka Toyoda "Time dependent nanoparticle density measurement in a liquid-flow plasma process" ISPlasma2023/IC-PLANTS2023, 07P-P3-41 |
| 7 | Shuichi Kuboi, Haruhito Kato, Yuto Seki, Yudai Akatsuka, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda "Influence of pulse-off time on time-varying ion composition in a pulse-operated Ar/C4F8/O2 dual-frequency capacitively coupled plasma" 25th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC25), POS-7-109 |
| 8 | Shuichi Kuboi, Yudai Akatsuka, Haruhito Kato, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda "Influence of Ion Composition on High Aspect Ratio Etching in Pulse-operated Ar/C4F8/O2 DF-CCP" The 44th International Symposium on Dry Process (DPS2023), A-5 |
| 9 | Shunya Kawamura, Haruka Suzuki, Daiki Iino, Hiroyuki Fukumizu, Kazuaki Kurihara, Hirotaka Toyoda "Effect of collisions in a sheath on angular distributions of high-speed particles incident on an RF electrode from a dual-frequency capacitively-coupled plasma" The 44th International Symposium on Dry Process (DPS2023), G-1 |
| 10 | Haruhito Kato , Yudai Akatsuka , Shuichi Kuboi , Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda "Quantitative evaluation of ion composition in Ar/C4F8/O2 pulsed capacitively-coupled plasma based on electron impact ionization rates" The 44th International Symposium on Dry Process (DPS2023), P-20 |
| 11 | Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda [Invited] "Production and Application of High-density Microwave Plasma in Contact with Flowing Liquid" AEPSE2023, Tu2D-2 |
国内会議・研究会発表
| 1 | 小川泰那,岩田悠揮,鈴木陽香, 豊田浩孝 "高速ガス流を用いた減圧形成によるマイクロ波放電の易化" 第70回応用物理学会春期学術講演会，15pPA02-1 |
| 2 | 原田健汰, 久蔵学, 大舘暁, 豊田浩孝 "発光イメージをもとにしたプラズマ構造の評価" 第70回応用物理学会春期学術講演会，16aA402-5 |
| 3 | 加藤閣人,赤塚勇大 ,関悠斗,久保井宗一,鈴木陽香, 豊田浩孝 "二周波容量結合型Ar/C4F8/O2プラズマにおける電力変調方式がイオン組成に与える影響" 第70回応用物理学会春期学術講演会，16aA402-6 |
| 4 | 川村 隼也，市川 景太，鈴木 陽香,飯野大輝，福水裕之，栗原一彰，豊田浩孝 "二周波重畳容量結合型プラズマにおけるシース内衝突がRF電極入射粒子の角度分布に及ぼす影響" 第70回応用物理学会春期学術講演会，17pA205-13 |
| 5 | 柚木 健吾 ,鈴木 陽香,笹井 建典,増崎 貴,林 浩己 ,村瀬 尊則,中川 翔,柳原 悠人,豊田 浩孝 "旋回流による流動液体プラズマ処理装置の放電部の電極保護" 第70回応用物理学会春期学術講演会，18aA408-1 |
| 6 | 赤塚勇大，加藤閣人，久保井宗一，鈴木陽香，豊田浩孝 "二周波容量結合型Ar/C4F8/O2パルスプラズマの電子密度時分解計測" 令和5年度電気・電子・情報関係学会 東海支部連合大会 |
| 7 | 中林賢二，小川泰那，鈴木陽香 ，豊田浩孝 "高速ガス流を用いた弱減圧マイクロ波プラズマ生成にむけた減圧形成シミュレーション" 令和5年度電気・電子・情報関係学会 東海支部連合大会 |
| 8 | 柚木 健吾, 鈴木 陽香, 笹井 建典, 増崎 貴, 豊田 浩孝 "流動液体プラズマ処理装置を用いたAgナノ粒子合成における生成性能評" 第84回応用物理学会秋季学術講演会, 19p-A202-1 |
| 9 | 豊田 浩孝、市川 景太、チュ マンフン、森山 誠、鈴木 陽香、飯野 大輝、福水 裕之、栗原 一彰 [招待] "高周波電極へ入射する高エネルギー粒子角度分布のイメージング計測" 第84回応用物理学会秋季学術講演会, 20a-A401-1 |
| 10 | 原田健汰, 久蔵 学, 鈴木陽香, 豊田浩孝 "複数視野像を用いたプラズマ3次元構造評価の試み" 第84回応用物理学会秋季学術講演会, 21p-P01-9 |
| 11 | 加藤閣人, 赤塚勇大, 久保井宗一, 鈴木陽香, 豊田浩孝 "Ar/C4F8/O2容量結合型パルスプラズマにおける放電開始直後の電離レートをもとにしたイオン組成の定量的評価" 第84回応用物理学会秋季学術講演会, 22a-A401-4 |
| 12 | 小川泰那、中林賢二、鈴木陽香、豊田浩孝 "気体流による減圧形成を応用した放電易化におけるノズル電極の構造検討" 第40回 プラズマ・核融合学会 年会, 29Da07 |
| 13 | 鈴木陽香、原田健汰、久蔵学、豊田浩孝 "多方向画像からの3次元プラズマ空間構造の評価" 第40回 プラズマ・核融合学会 年会, 30Dp01 |
| 14 | 豊田浩孝 [招待] "プラズマにおける高エネルギー粒子診断" 第41回プラズマプロセシング研究会(SPP-41), 24a-1 |
| 15 | 赤塚勇大，鈴木陽香，森山誠，飯野大輝，福水裕之，栗原一彰，豊田浩孝 "On-OffおよびHigh-Low変調VHFプラズマにおけるキャピラリープレート底部の電荷蓄積挙動比較" 第41回プラズマプロセシング研究会(SPP-41), 24p-2 |
| 16 | 川村 隼也、金 度漢、鈴木 陽香、飯野 大輝、福水 裕之、栗原 一彰、豊田 浩孝 "二周波重畳容量性結合型Arプラズマにおける イオン角度分布のエネルギー分解計測" 第41回プラズマプロセシング研究会(SPP-41), 24p-3 |
| 17 | 鈴木陽香、原田健汰、久蔵学、豊田浩孝 "テレセントリックレンズを用いて撮影された画像からのプラズマ発光強度3次元空間分布の評価" 第41回プラズマプロセシング研究会(SPP-41), 25p-4 |
表彰
| 1 | 市川景太，Manh Hung Chu，森山誠，鈴木陽香，飯野大輝，福水裕之，栗原一彰，豊田浩孝 プラズマエレクトロニクス賞 "Angular Distribution Measurement of High-Energy Argon Neutral and Ion in A 13.56 MHz Capacitively-Coupled Plasma" 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会 |
| 2 | Keita Ichikawa Young Researchers Award(DPS2022Award) "Imaging measurement of angular distribution of high-speed particles from a dual-frequency capacitively-coupled plasma incident on an RF electrode" 44th International Symposium on Dry Process (DPS2023) |
◆ 2022年
学術論文・解説
| 1 | H. Suzuki,T. Ogasawara, Y. Iwata, H. Bae, and H. Toyoda "High-speed hydrophilic and ashing treatments of polyimide using Ar/O2 atmospheric-pressure microwave line plasma" Japanese Journal of Applied Physics 61 (2022) SI1008-1-5. |
| 2 | K. Tamura, J. Miyazawa, S. Masuzaki, M. Tokitani, Y. Hamaji, and H. Toyoda "Bubbling phenomenon of liquidized Sn-Bi-Li-Er alloy under hydrogen plasma exposure" Japanese Journal of Applied Physics 61 (2022) 106005. |
| 3 | M. Kyuzo, Y. Chiba, H. Suzuki, and H. Toyoda "Influence of small ground surface on plasma property in an inductively?coupled plasma with floating liner" Japanese Journal of Applied Physics 62 (2022) SA1008. |
| 4 | T. Kawate, N. Ashikawa, M. Goto, T. Oishi, Y. Kawamoto, H. Toyoda, M. Shoji, G. Kawamura, S. Masuzaki, and F. Nespol "Experimental study on boron distribution and transport at plasma-facing components during impurity powder dropping in the Large Helical Device" Nuclear Fusion 62 (2022) 126052. |
国際会議発表
| 1 | Ikumi Hamaguchi, Hansin Bae, Kensuke Sasai, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda "Plasma density increase of electron cyclotron resonance plasma by high voltage pulse power application" ISPlasma2022/IC-PLANTS2022, 07pC08O |
| 2 | Yuki Iwata, Tomohiro Ogasawara, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda "O Radical Measurement of Ar/O2 Microwave Plasma in Atmospheric Pressure" ISPlasma2022/IC-PLANTS2022, 07pC09O |
| 3 | Kota Tamura, H. Suzuki, J. Miyazawa, S. Masuzaki, M. Tokitani, H. Toyoda "Bubbling Phenomenon of Sn-Bi-Li-Er Alloy under H2 Plasma Exposure" ISPlasma2022/IC-PLANTS2022, 08P-21 |
| 4 | Yuto Seki, Haruhito Kato, Schuichi Kuboi, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda "Radical measurements of Ar/C4F8 dual frequency capacitively-coupled plasma" ISPlasma2022/IC-PLANTS2022, 08P-14 |
| 5 | Yukinori Chiba, Manabu Kyuzo, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda "RF Voltage Division of in RF-biased High-density Plasma with Floating Liner" ISPlasma2022/IC-PLANTS2022, 07P-14 |
| 6 | Kazuya Yamaguchi, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda "Long term synthesis of silver nanoparticles using a liquid-flow plasma device" ISPlasma2022/IC-PLANTS2022, 08P-47 |
| 7 | Kota Tamura, Haruka Suzuki, Junichi Miyazawa, Suguru Masuzaki, Masayuki Tokitani and Hirotaka Toyoda "Bubbling Phenomenon on Liquidized Sn-Bi-Li-Er Alloy Surface under H-Plasma Exposure" The 2nd US-Japan Workshop on Power and Particle Control in a Steady State Magnetic Fusion DEMO Reactor by Liquid Metal PFCs, JP-7 |
| 8 | Kota Tamura, H. Suzuki, Junichi Miyazawa, Suguru Masuzaki, Masayuki Tokitani and H. Toyoda "Hydrogen accumulation and surface bubbling of liquidized Sn-Bi-Li-Er under hydrogen plasma exopsure" ICRP-11/GEC 2022, DR2.00005 |
| 9 | Haruka Suzuki (presented by Hirotaka Toyoda) [Invited] "Continuous liquid treatment by high^density microwave plasma in flowing liquid" ICRP-11/GEC 2022, IR5.00004 |
| 10 | Yuto Seki, Haruhito Kato, Shuichi Kuboi, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda "Time-dependent Measurement of Ion Composition in Pulse-operated Ar/C4F8/O2 Dual-frequency Capacitively-coupled Plasma" ICRP-11/GEC 2022, HT4.00070 |
| 11 | Ikumi Hamaguchi, Kensuke Sasai, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda "Plasma Density Enhancement of an Electron Cyclotron Resonance Plasma with Pulse-biased stage" ICRP-11/GEC 2022, HW6.00045 |
| 12 | Hirotaka Toyoda [Plenary] "Microwave plasma source development and applications from low pressure to atmospheric pressure" AAPPS-DPP2022 |
| 13 | K. Ichikawa, H. Suzuki, D. Iino, H. Fukumizu, K. Kurihara, H. Toyoda "Imaging measurement of angular distribution of high-speed particles from a dual-frequency capacitively-coupled plasma incident on an RF electrode" DPS2022 43rd International Symposium on Dry Process, E-1 |
| 14 | Y. Seki, H. Kato, S. Kuboi, H. Suzuki and H. Toyoda "Time-resolved measurement of ion composition in a dual-frequency capacitively-coupled pulsed plasma" DPS2022 43rd International Symposium on Dry Process, P-9 |
| 15 | S. Kuboi, H. Kato, Y. Seki, H. Suzuki, and H. Toyoda "Time-resolved measurement of Ionic composition change in Pulse-modulated Ar/C4F8/O2 DF-CCP" DPS2022 43rd International Symposium on Dry Process, A-5 |
国内会議・研究会発表
| 1 | 田村晃汰，鈴木陽香，宮澤順一，増崎貴，時谷政行，豊田浩孝 "水素プラズマ照射下の液体スズ合金で発生する発泡現象" ダイバータの学理と応用 研究会 |
| 2 | 濱口育未，ベハンシン, 笹井建典, 鈴木陽香，豊田浩孝 "高電圧バイアス印加Ar/C6H6ECRプラズマを用いた導電性炭素膜堆積における磁場構造の影響" 第39回プラズマプロセシング研究会/第24回プラズマ材料科学シンポジウム，S025-B-02 |
| 3 | 関悠斗，加藤閣人、久保井宗一、鈴木陽香，豊田浩孝 "超高周波容量結合型Ar/C4F8/O2プラズマにおけるイオンおよび中性ラジカル種の測定" 第39回プラズマプロセシング研究会/第24回プラズマ材料科学シンポジウム，S024-A-05 |
| 4 | 市川景太，チュマンフン、森山誠、中原尚哉、鈴木陽香，豊田浩孝 "容量結合型プラズマにおける電極入射高速粒子角度分布のイメージング計測" 第39回プラズマプロセシング研究会/第24回プラズマ材料科学シンポジウム，L025-B-03 |
| 5 | 岩田悠揮，小笠原知裕，鈴木陽香，堤隆嘉，堀勝，豊田浩孝 "真空紫外原子吸光分光法による大気圧マイクロ波Ar/O2プラズマのO原子密度計測" 第39回プラズマプロセシング研究会/第24回プラズマ材料科学シンポジウム，S024-B-02 |
| 6 | 田村晃汰，鈴木陽香，宮澤順一，増崎貴，時谷政行，豊田浩孝 "水素プラズマ照射下におけるスズ-ビスマス-リチウム-エルビウム溶融合金の発泡現象" 第39回プラズマプロセシング研究会/第24回プラズマ材料科学シンポジウム，S025-A-04 |
| 7 | 豊田浩孝 "高周波容量結合型プラズマにおける高アスペクト比キャピラリーホール底部のチャージアップ現象" 応用物理学会シリコンテクノロジー分科会第234回研究集会 |
| 8 | 市川景太, 鈴木陽香, 豊田浩孝 "二周波重畳容量結合型プラズマから電極へ入射する高速粒子のイメージング法を用いた角度分布計測" 第69回応用物理学会春期学術講演会，25a-E104-9 |
| 9 | 濱口育未，ベハンシン, 笹井建典, 鈴木陽香，豊田浩孝 "電子サイクロトロン共鳴プラズマ中の基板ステージへの負パルスバイアス電圧印加によるプラズマ密度増加" 第69回応用物理学会春期学術講演会，22p-E105-1 |
| 10 | 岩田 悠揮，小笠原 知裕，鈴木 陽香，豊田 浩孝 "Ar/O2 大気圧マイクロ波プラズマにより処理したポリイミドフィルムの表面分析" 第69回応用物理学会春期学術講演会，26a-P03-8 |
| 11 | 関悠斗、加藤閣人、久保井宗一、鈴木陽香、豊田浩孝 "質量分析法を用いた二周波容量結合型 Ar/C4F8/O2パルスプラズマ中イオンの時分解計測" 第69回応用物理学会春期学術講演会，25a-E104-8 |
| 12 | 鈴木陽香、豊田浩孝 [招待] "水シールド環境下でのマイクロ波励起水蒸気プラズマの生成と応用" 第69回応用物理学会春期学術講演会，23p-E103-3 |
| 13 | 加藤閣人、関悠斗、久保井宗一、鈴木陽香、豊田浩孝 "二周波容量結合型Ar/C4F8/O2パルスプラズマ中のイオン時分解計測" 令和4年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会，D3-4 |
| 14 | 関悠斗、加藤閣人、久保井宗一、鈴木陽香、豊田浩孝 "二周波容量結合型Ar/C4F8/O2プラズマのパルス運転がイオン組成に及ぼす影響" 第83回応用物理学会秋季学術講演会，22p-A406-7 |
| 15 | 市川景太、鈴木陽香、飯野大輝、福水裕之、栗原一彰、豊田浩孝 "二周波重畳容量結合型プラズマからRF電極へ入射する高速粒子入射角度分布のイメージング計測" 第83回応用物理学会秋季学術講演会，22p-A406-8 |
| 16 | 松浦寛人、トラントラングエン、胡敏、仲野匠、岩田悠揮、鈴木陽香、豊田浩孝 "化学プローブを用いた長尺大気圧プラズマ生成活性ラジカルの可視化" 第83回応用物理学会秋季学術講演会，20a-A105-3 |
| 17 | 豊田浩孝 [招待] "マイクロ波プラズマ技術による大気圧プラズマ生成と液体処理" 第16回日本電磁波エネルギー応用学会シンポジウム，2S02 |
| 18 | 鈴木陽香、関悠斗、加藤閣人、久保井宗一、豊田浩孝 "パルス変調二周波容量結合型Ar/C4F8/O2プラズマにおけるイオン組成変化の時間分解測定" 第39回 プラズマ・核融合学会年会，22Bp07 |
| 19 | 田村晃汰、宮澤順一、増崎貴、時谷政行、浜地志憲、豊田浩孝 "水素プラズマ照射時に発生する液体Sn-Bi-Li-Er合金発泡現象" 第39回 プラズマ・核融合学会年会，24Dp07 |
表彰
| 1 | Yuto Seki The Best Short Presentation Awards "Radical measurements of Ar/C4F8 dual frequency capacitively-coupled plasma" ISPlasma2022 |
| 2 | 市川景太 第52回（2022年春季）応用物理学会講演奨励賞 "二周波重畳容量結合型プラズマから電極へ入射する高速粒子のイメージング法を用いた角度分布計測" 第69回応用物理学会春期学術講演会 |
| 3 | Keita Ichikawa Excellent Student Award IEEE Nagoya Section |
| 4 | 豊田浩孝 KIOXIA 優秀研究賞 キオクシア奨励研究 2021年度 プロセス部門 KIOXIA |
◆ 2021年
学術論文・解説
| 1 | H. Suzuki, H. Koma, T. Ogasawara, Y. Koike, and H. Toyoda "Spatial Uniformity Evaluation of Atmospheric-Pressure Microwave Line Plasma for Wide-Area Surface Treatment" Plasma and Fusion Research 16 (2021) 1406046 |
| 2 | K. Tamura, H. Suzuki, J. Miyazawa, S. Masuzaki, H. Toyoda "Quantitative evaluation of hydrogen retention of solid tin after exposure to hydrogen plasma" Fusion Engineering and Design 170 (2021) 112532 |
| 3 | H. Bae, K. Sasai, H. Suzuki, H. Toyoda "High-speed deposition of graphite-like carbon film by Ar/C6H6 surface-wave plasma with high-voltage pulse biasing" Vacuum 192 (2021) 110429 |
| 4 | Keita Ichikawa, Manh Hung CHU, Makoto Moriyama, Naoya Nakahara, Haruka Suzuki, Daiki Iino, Hiroyuki Fukumizu, Kazuaki KURIHARA and Hirotaka TOYODA "Angular distribution measurement of high-energy argon neutral and ion in a 13.56 MHz capacitively-coupled plasma" Applied Physics Express 14 (2021) 126001-1-5 |
| 5 | Bae, Hansin; Hamaguchi, Ikumi; Sasai, Kensuke; Suzuki, Haruka; TOYODA, Hirotaka "Enhancement of the ion flux to the substrate by high voltage biasing in an electron cyclotron resonance plasma and its application to high-speed deposition of conductive carbon film" Japanese Journal of Applied Physics 60 (2021) 126002-pp1-26 |
国際会議発表
| 1 | T. KAWATE, N. Ashikawa, M. Goto, T. Oishi, Y. Kawamoto, and H. Toyoda "BH and BD molecular spectroscopy during the Impurity Powder Dropper experiments" 15th International Workshop on Hydrogen Isotopes in Fusion Reactor Materials（HWS2020） |
| 2 | Ikumi Hamaguchi, Hansin Bae, Kensuke Sasai, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda "Conductive carbon film deposition by microwave plasma with high voltage biasing" MRM2021, C001212, H2-O8-07 |
| 3 | H. Bae, H. Suzuki1, K. Sasai and H. Toyoda "High Speed sp2-rich Carbon Film Deposition with Surface-wave Microwave Plasma" DPS2021, P-35 |
| 4 | H. Suzuki, T. Ogasawara, Y. Iwata and H. Toyoda "Investigation of Ar/O2 atmospheric-pressure microwave line plasma and its application to Polyimide film ashing" DPS2021, P-50 |
| 5 | Manabu Kyuzo, Yukinori Chiba, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda "Influence of small grounded surface on plasma property in an inductively-coupled plasma with floating liner" DPS2021, P-3 |
| 6 | Haruka Suzuki, Makoto Moriyama, Naoya Nakahara, Keita Ichikawa, and Hirotaka Toyoda "Time-resolved Measurement of Charge Density at the Bottom of High-aspect-ratio Holes in a Pulsed Capacitively Coupled Plasma" 5th Asia-Pacific Conference on Plasma Physics (AAPPS-DPP2021) |
| 7 | T.Ogasawara, Y.Iwata, H.Suzuki and H.Toyoda "Large Area Ashing Treatment of Polyimide Film by Atmospheric Pressure Pulsed Microwave Line Plasma with Ar/O2" 5th Asia-Pacific Conference on Plasma Physics (AAPPS-DPP2021) |
| 8 | Hansin Bae, Kensuke Sasai, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda "Highly conductive carbon film deposition by DC and microwave power superposition" 74th Annual Gaseous Electronics Conference, GT61.00004 |
| 9 | Haruka Suzuki, Makoto Moriyama, Naoya Nakahara, Hirotaka Toyoda "Evaluation of charge density at hole bottom of capillary plates in a pulsed dual-frequency capacitively coupled plasma" 74th Annual Gaseous Electronics Conference, PR22.00008 |
| 10 | Haruka Suzuki, Kazuya Yamaguchi, Kensuke Sasai, Hirotaka Toyoda " Fast and massive synthesis of silver nanoparticle by a liquid-flow plasma source using AgNO3 solution" 74th Annual Gaseous Electronics Conference, GT61.00066 |
| 11 | H. Toyoda " Large volume liquid treatment with high-density microwave plasma" Plasma Thin Film International Meeting (PLATHINUM2021), PL-1 |
| 12 | Hirotaka Toyoda, Kazuya Yamaguchi, Kengo Yunoki, Haruka Suzuki, Kensuke Sasai "Microwave application to liquid process in reduced pressure environment" Workshop Japan-RUB 2021Bridging the Pandemic: Reigniting Cooperation on Plasma Research |
| 13 | Ikumi Hamaguchi, Hansin Bae, Haruka Suzuki,Kensuke Sasai and Hirotaka Toyoda "Conductive carbon deposition by surface wave plasma with high voltage pulse biasing" Workshop Japan-RUB 2021Bridging the Pandemic: Reigniting Cooperation on Plasma Research |
| 14 | Yuki Iwata, Tomohiro Ogasawara, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda "Oxygen radical measurement in Ar/O2 atmospheric pressure microwave line plasma" Workshop Japan-RUB 2021Bridging the Pandemic: Reigniting Cooperation on Plasma Research |
| 15 | K. Tamura, H. Suzuki, J. Miyazawa, S. Masuzaki, M. Tokitani, H. Toyoda "Sputtering Behavior of Sn and Sn-based Alloy Under Hydrogen Plasma Exposure" The 30th International Toki Conference on Plasma and Fusion Research, 18Cm4 |
| 16 | Yukinori Chiba, Manabu Kyuzo, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda "Influence of metal exposure on the plasma potential in RF-biased high-density plasma with floating liner" The 12th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology(APSPT-12), O6-4 |
| 17 | Tomohiro Ogasawara, Yuki Iwata, Haruka Suzuki, Takayoshi Tsutsumi, Masaru Hori and Hirotaka Toyoda "Spatial distribution measurement of atomic oxygen from atmospheric-pressure microwave line plasma by atomic absorption spectroscopy" The 12th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology(APSPT-12), O12-2 |
| 18 | Kazuya Yamaguchi,Kensuke Sasai,Haruka Suzuki,Hirotaka,Toyoda "High-performance Ag nanoparticle production by novel liquid-flow plasma treatment device" Materials Research Meeting 2021(MRM2021), H2-PV23-12 |
国内会議・研究会発表
| 1 | 岩田 悠揮，小笠原 知裕，鈴木 陽香，豊田 浩孝 "大気圧長尺マイクロ波ラインプラズマによる広幅高速アッシング処理" 令和3年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会、A1-4 |
| 2 | 濱口 育未，Bae Hansin，笹井 建典，鈴木 陽香，豊田 浩孝 "表面波プラズマを用いた高導電性炭素膜の高速堆積" 令和3年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会、A1-5 |
| 3 | 関 悠斗，久保井 宗一，鈴木 陽香，豊田 浩孝 "二周波容量結合型フルオロカーボンプラズマ中のラジカル計測" 令和3年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会、A1-6 |
| 4 | 市川 景太，鈴木 陽香，豊田 浩孝 "イメージング法による容量結合型プラズマから電極へ入射する高速粒子の角度分布計測" 令和3年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会、A1-7 |
| 5 | Bae Hansin， 濱口 育未, 鈴木 陽香，笹井 建典，豊田 浩孝 "ECRプラマを用いた高伝導性カーボン薄膜成膜" 第82回応用物理学会秋季学術講演会、12p-N102-13 |
| 6 | 山口 和也，鈴木 陽香，笹井 建典，豊田 浩孝 "流動液体プラズマ処理装置を用いたAgナノ粒子の長時間安定合成" 第82回応用物理学会秋季学術講演会、22a-P08-2 |
| 7 | 小笠原知裕, 岩田悠揮, 鈴木陽香, 豊田浩孝 "パルスマイクロ波励起大気圧長尺酸素添加アルゴンプラズマ源の性能評価" 第38回 プラズマ・核融合学会 年会、22P-2F-04 |
| 8 | 田村晃汰，鈴木陽香，宮澤順一，増崎貴，時谷政行，豊田浩孝 "水素プラズマ照射下でのスズおよびスズ合金からのスパッタリング計測" 第38回 プラズマ・核融合学会 年会、22Da04 |
| 9 | 疋田和也，笹井健典，鈴木陽香，豊田浩孝 "高密度表面波プラズマを用いた銀ナノ粒子の溶融" 第38回 プラズマ・核融合学会 年会、22P-2F-07 |
| 10 | 豊田浩孝，鈴木陽香 "大気圧長尺マイクロ波プラズマの連続・離散構造変化" 「原子分子過程研究の最先端と先進的プラズマ分光計測」「原子分子データ応用フォーラムセミナー」合同研究会 |
表彰
| 1 | 疋田和也 電気学会優秀論文発表賞 「誘導結合プラズマ中の銀粒子挙動」 令和2年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 |
| 1 | Kota Tamura Best Student Presentation Award "Sputtering Behavior of Sn and Sn-based Alloy Under Hydrogen Plasma Exposure" The 30th International Toki Conference on Plasma and Fusion Research |
◆ 2020年
学術論文・解説
| 1 | H. Suzuki, Y. Tamura, M. H. Chu, and H. Toyoda "Atmospheric-pressure microwave line plasma with an asymmetric cross-section waveguide for long-scale N2 plasma production" Jpn. J. Appl. Phys 59 (2020) 016002 |
| 2 | M. Moriyama, N. Nakahara, A. Mitsuya, H. Suzuki, K. Kurihara, D. Iino, H. Fukumizu, and H. Toyoda "Evaluation of absolute charge density at the bottom of high aspect capillary holes exposed to a pulsed very high frequency plasma" Jpn. J. Appl. Phys 59 (2020) SJJB03 |
| 3 | M. Moriyama, N. Nakahara, K. Kurihara, D. Iino, H. Fukumizu, H. Suzuki, and H. Toyoda "Time-dependent measurement of charge density on the bottom of high aspect capillary hole in pulse-modulated VHF capacitively coupled Ar plasma" Jpn. J. Appl. Phys 60 (2020) 016001 |
国際会議発表
| 1 | J. Suzuki, H. Suzuki, K. Sasai, and H. Toyoda "Synthesis of silver nanoparticles by in line liquid process using microwave plasma source" ISPlasma/IC-PLANTS2020, 09P3-17 |
| 2 | K. Tamura, H. Suzuki, J. Miyazawa, and H. Toyoda "Quantitative Evaluation of Hydrogen Retention in Metal Tin using Thermal Desorption Spectroscopy" ISPlasma/IC-PLANTS2020, 10P3-05 |
| 3 | M. H. Chu, H. Suzuki, and H. Toyoda "Temperature measurement of slot-plate in an atmospheric-pressure microwave linear plasma" ISPlasma/IC-PLANTS2020, 10P2-07 |
| 4 | Y. Baba, M. Moriyama, H. Suzuki, and H. Toyoda "Spatial characteristics analysis of atmospheric pressure microwave plasma with FEM simulation" ISPlasma/IC-PLANTS2020, 10P3-14 |
| 5 | H. Koma, H. Suzuki, and H. Toyoda "Electromagnetic Analysis in a Long-scale Slot Plasma Excited by Microwave Travelling Wave" ISPlasma/IC-PLANTS2020, 10P3-17 |
| 6 | H. Suzuki, H. Koma, T. Ogasawara, M. H. CHu, and H. Toyoda "Film Surface Treatment with O2/Ar Line Plasma under Atmospheric Pressure" GEC2020, LT3.7 |
| 7 | M. Moriyama, H. Suzuki, and H. Toyoda "Evaluation of absolute charge density at the bottom of hole pattern using high aspect ratio capillary plate" GEC2020, RW3.4 |
国内会議・研究会発表
| 1 | 中原 尚哉, 森山 誠, 三矢 晶洋, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝 "容量結合型 プラズマ中におけるキャピラリープレート上部電位の推定" 第67回応用物理学会春季学術講演会, 12p-A205-7 |
| 2 | 森山 誠，中原 尚哉，三矢 晶洋，鈴木 陽香，豊田 浩孝 "パルス変調容量結合プラズマにおけるキャピラリープレート近傍のャージ量絶対評価" 第67回応用物理学会春季学術講演会, 12p-A205-8 |
| 3 | M. H. Chu, H. Suzuki, and H. Toyoda1 "Heat flux evaluation of the atmospheric pressure microwave line plasma from spatio-temporal temperature measurement of the slot-plate" 第67回応用物理学会春季学術講演会, 15a-PB2-12 |
| 4 | 鈴木 丈 鈴木 陽香，豊田 浩孝 "アルカリ剤を用いたプラズマ 合成 Agナノ粒子の再溶解抑制" 第67回応用物理学会春季学術講演会, 14p-PB4-22 |
| 5 | 中原 尚哉 ,森山 誠 ,鈴木 陽香 ,豊田 浩孝 "パルス変調容量結合型プラズマにおけるキャピラリープレート下部の電荷密度変化" 第81回応用物理学会秋季学術講演会 |
| 6 | 中原 尚哉, 森山 誠, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝 "パルス変調容量結合型プラズマにおけるキャピラリープレート下部の電荷密度の時分解計測" 令和2年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 |
| 7 | 小笠原 知裕, 小間 浩嗣, 鈴木 陽香, 本田 剛, 豊田 浩孝 "大気圧長尺マイクロ波ラインプラズマによる表面親水化処理" 令和2年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 |
| 8 | 疋田 和也, べ ハンシン, 鈴木 陽香, 笹井 建典, 豊田 浩孝 "誘導型結合プラズマ中の銀粒子挙動" 令和2年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 |
| 9 | 田村 晃汰, 鈴木 陽香, 増崎 貴, 時谷 政行, 宮澤 順一, 豊田 浩孝 "重水素プラズマ照射スズ中における重水素の深さ分布測定" プラズマ・核融合学会 第37回年会 |
| 10 | 中原 尚哉, 森 山誠, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝 "パルス変調二周波重畳容量結合型プラズマにおけるキャピラリープレート下部の電荷密度評価" プラズマ・核融合学会 第37回年会 |
| 11 | 小笠原 知裕, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝 "パルスマイクロ波励起大気圧酸素添加アルゴンプラズマによる樹脂材料表面処理 " プラズマ・核融合学会 第37回年会 |
| 12 | H. Bae, K. Hikita, H.Suzuki, K.Sasai, H.Toyoda "High speed and wide area conductive carbon film deposition by surface-wave plasma" プラズマ・核融合学会 第37回年会 |
| 13 | 鈴木 陽香, 小笠原 知裕, Chu Manh Hung, 岩田 悠揮, 豊田 浩孝 "大気圧マイクロ波プラズマの大面積かつ高速表面処理への応用" プラズマ・核融合学会 第37回年会 |
表彰
| 1 | 田村 晃汰 電気学会優秀論文発表賞 「昇温脱離法を用いた固体スズ中の水素残留量評価」 令和元年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 |
| 2 | 豊田 浩孝 応用物理学会フェロー：プロセスプラズマの気相・表面解析と新規プロセスプラズマ源創出 応用物理学会 |
◆ 2019年
学術論文・解説
| 1 | 豊田 浩孝, 鈴木 陽香 "大気圧マイクロ波放電による高密度長尺ラインプラズマ" 応用物理Vol.88No.2,pp.101-104（2019） |
| 2 | 豊田 浩孝 "高密度表面波励起プラズマによるフッ素樹脂の表面改質" 機能材料 2019年12月号VOL.39 No.12 pp4-11(12/5発行) |
| 3 | H. Toyoda, S. Ishikawa, H. Suzuki, and T. Honda "Rapid resist ashing by slot-excited atmospheric pressure microwave O2 plasma" Jpn. J. Appl. Phys 58 (2019) 126001 |
国際会議発表
| 1 | H. Bae, Y. Koike, H. Koma, H. Suzuki, and H. Toyoda "Oxygen radical measurement of atmospheric pressure microwave plasma employing vacuum ultraviolet absorption spectroscopy" ISPlasma2019/IC-PLANTS2019, 18P1-02 |
| 2 | Y. Baba, H. Suzuki, and H. Toyoda "Time-resolved Measurement of Cross-Sectional Structure of a Narrow Gap Plasma Produced by an Atmospheric Pressure Microwave Discharge" ISPlasma2019/IC-PLANTS2019, 18P1-03 |
| 3 | K. Tamura, H. Suzuki, H. Toyoda, and J. Miyazawa "Hydrogen Recycling Properties of Tin wall in DC Glow Hydrogen Plasma" ISPlasma2019/IC-PLANTS2019, 18P1-04 |
| 4 | S. Fukuda, K. Udagawa, H. Suzuki, Y. Yauchi, and H. Toyoda "Potential Control of Surface Wave Plasma by Applying DC Pulse Voltage to a Slot type Microwave Antenna" ISPlasma2019/IC-PLANTS2019, 18P1-47 |
| 5 | H. Koma, Y. Koike, H. Suzuki, and H. Toyoda "Microscopic Measurement of Long Microwave Plasma at Atmospheric Pressure" ISPlasma2019/IC-PLANTS2019, 18P2-30 |
| 6 | M. H. Chu, H. Suzuki, and H. Toyoda "Optimized waveguide structure for atmospheric pressure microwave plasma" ISPlasma2019/IC-PLANTS2019, 19aE07O |
| 7 | H. Suzuki, H. Koma, M. H. Chu, H. Bae, Y. Baba, and H. Toyoda "Large-area surface treatment using microwave plasma excited in meter-length slot with sub-millimeter gap" The 10th of International Workshop on Microplasmas（IWM-10） |
| 8 | Y. Baba, H. Suzuki, and H. Toyoda "Time-resolved microscopic measurement of slot excited atmospheric pressure microwave plasma" The 10th of International Workshop on Microplasmas（IWM-10） |
| 9 | T. Okimoto, Y. Isomura, Y. Ikari, Y. Tauchi, K. Nishiyama, H. Toyoda, and H. Suzuki "Development of Microwave Remote Plasma Source for New Surface Functionalization" International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films（ICMCTF 2019） |
| 10 | H. Bae, Y. Koike, H. Koma, H. Suzuki, and H. Toyoda "Oxygen Radical Flux Measurement of Atmospheric Pressure Microwave Line Plasma" AEPSE2019 |
| 11 | H. Toyoda, H. Koma, Y. Baba, M. H. Chu, H. Bae, H. Suzuki "Microscopic observation of an atmospheric-pressure microwave plasma produced in a meter-scale slot with sub-millimeter gap" GEC19 Meeting of The American Physical Society |
| 12 | H. Bae, H. Koma, H. Suzuki, and H. Toyoda "Space-resolved oxygen radical measurement of atmospheric pressure microwave line plasma using vacuum ultraviolet absorption spectroscopy" GEC19 Meeting of The American Physical Society |
| 13 | S. Fukuda, K. Udagawa, H. Suzuki, Y. Tauchi, and H. Toyoda "Potential Control of Surface Wave Excited Plasma by Pulsed DC Voltage Applied to Plasma-Immersed Waveguide" XXXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases (XXXIV ICPIG)XXXIV ICPIG & ICRP-10 |
| 14 | M. Moriyama, A. Mitsuya, N. Nakahara, H. Suzuki, and H. Toyoda "Measurement of ion energy in dual-frequency capacitive coupled plasma" XXXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases (XXXIV ICPIG)XXXIV ICPIG & ICRP-10 |
| 15 | H. Toyoda [Invited] "High-energy Negative Ions in Sputtering Plasma- Energy Distribution and Its Spatial Variation -" 3rd Asia-Pacific Conference on Plasma Physics |
| 16 | M. Moriyama, A. Mitsuya, N. Nakahara, H. Suzuki, H. Toyoda "Potential structure of high-aspect-ratio capillary hole in a pulsed-VHF capactive coupled plasma" 2019 International Symposium on DryProcess |
国内会議・研究会発表
| 1 | 馬場 賀己, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝 "スロット励起大気圧マイクロ波プラズマの断面構造の時分解顕微観測" 第36回プラズマプロセシング研究会と第31回プラズマ材料科学シンポジウム, C3-119-007 |
| 2 | 小間 浩嗣, 小池 洋右, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝 "メートル級長尺スロット型プラズマ源における 大気圧マイクロ波プラズマの顕微計測" 第36回プラズマプロセシング研究会と第31回プラズマ材料科学シンポジウム |
| 3 | チュー マン フン, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝 "シミュレーションを援用した大気圧マイクロ波プラズマ源の非対称断面導波管内電磁界分布の解析" 第36回プラズマプロセシング研究会と第31回プラズマ材料科学シンポジウム |
| 4 | 三矢 晶洋, 森山 誠, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝 "二周波重畳容量結合プラズマ基本特性 の実験的評価 の実験的評価 の実験的評価" 第66回応用物理学会春季学術講演会, 9p-W323-8 |
| 5 | 馬場 賀己, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝 "スロット型大気圧マイクロ波プラズマの時空間分解計測" 第66回応用物理学会春季学術講演会, 9p-W323-9 |
| 6 | 森山 誠, 三矢 晶洋, 中原 尚哉, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝 "シミュレーションによる二周波重畳容量結合プラズマの基本特性解析" 第66回応用物理学会春季学術講演会, 9P-W323-10 |
| 7 | H. Bae, K. Yosuke, H. Koma, H. Suzuki, and H. Toyoda "Oxygen Radical Measurement of Atmospheric Pressure Microwavw Line Plasma by Vacuum Uｌtraviolet Absorption Spectroscopy" 第66回応用物理学会春季学術講演会,10a-M103-2 |
| 8 | S. Yang, S. Fujimura, M. Shiigai, K. Sasai, H. Suzuki, and Hirotaka Toyoda" "High Speed Synthesis of Nanoparticles by Liquid Flow-type Microwave Plasma" 第66回応用物理学会春季学術講演会,11a-PA6-2 |
| 9 | 小間 浩嗣, 杉山 敦士, 鈴木 陽香, 本田 剛, 豊田 浩 "大気圧長尺マイクロ波プラズマによる大面積高速表面処理" 第66回応用物理学会春季学術講演会,12aW641-6 |
| 10 | 豊田 浩孝 [招待] "長尺大気圧マイクロ波プラズマ生成と表面処理の応用" 表面技術協会 第139回講演大会 |
| 11 | 豊田 浩孝 [招待] "革新的プラズマ源開発とエネルギー科学応用" 第82回マテリアルズテーラリング研究会 |
| 12 | 福田 奨, 鈴木 陽香, 村田 祐也, 山本 兼司,豊田 浩孝 "表面波プラズマ生成アンテナへのDCパルス電圧印加時における絶縁表面電位の時間変化" 第80回応用物理学会秋季学術講演会 |
| 13 | 馬場 賀己, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝 "大気圧下におけるスロット励起マイクロ波O2/Arプラズマの断面空間構造の空間分解観測" 第80回応用物理学会秋季学術講演会 |
| 14 | 森山 誠, 三矢 晶洋, 中原 尚哉, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝 "二周波重畳容量結合型プラズマにおけるキャピラリープレート内の電位構造解析" 第80回応用物理学会秋季学術講演会 |
| 15 | 小間 浩嗣, 鈴木 陽香，豊田 浩孝 "電磁界シミュレーションによる進行波を用いた長尺スロットプラズマ内における電磁界分布の検討" 第80回応用物理学会秋季学術講演会 |
| 16 | 三矢晶洋、森山誠、中原尚哉、鈴木陽香、豊田浩孝 "二周波重畳容量結合型プラズマ装置におけるファラデーカップを用いたイオンエネルギー分布の計測" 第80回応用物理学会秋季学術講演会 |
| 17 | チュー マン フン，鈴木 陽香，豊田 浩孝 "パルスマイクロ波励起大気圧長尺スロットプラズマの時分解計測" 第80回応用物理学会秋季学術講演会 |
| 18 | 中原 尚哉, 森山 誠，三矢 晶洋，鈴木 陽香，豊田 浩孝, 他 "二周波重畳容量結合型プラズマにおけるキャピラリープレート内の電位構造解析" 令和元年度 電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 |
| 19 | 三矢 晶洋，森山 誠，中原 尚哉、鈴木 陽香、豊田 浩孝 "二周波重畳容量結合型プラズマ装置におけるファラデーカップを用いたイオンエネルギー分布の測定" 令和元年度 電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 |
| 20 | 馬場 賀己，鈴木 陽香，豊田 浩孝 "大気圧マイクロ波プラズマにおけるギャップ内ガス温度の空間分解計測" 令和元年度 電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 |
| 21 | 田村晃汰，鈴木陽香，宮澤順一，豊田浩孝 "昇温脱離法を用いた固体スズ中の水素吸蔵量評価" 令和元年度 電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 |
| 22 | 福田 奨，鈴木 陽香，村田 祐也，山本 兼司，豊田 浩孝 "表面波プラズマ生成アンテナへのDC パルス電圧印可時における絶縁膜表面電位の考察" 令和元年度 電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 |
| 23 | Shaofei Yang, Jyo Suzuki, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda "High Speed Synthesis of Nanoparticles in Liquid Environment by In-Line Type Plasma Device" 令和元年度 電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 |
| 24 | 森山 誠, 中原 尚哉, 三矢 晶洋, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝 "容量結合プラズマ中に設置されたエッチングホール模擬用キャピラリープレートの電位構造解析" プラズマ・核融合学会 第36回年会 |
| 25 | 田村 晃汰, 鈴木 陽香, 宮澤 順一, 豊田 浩孝 "核融合炉ダイバー応用へ向けたスズの水素吸蔵量定量評価" プラズマ・核融合学会 第36回年会 |
表彰
| 1 | Authors "Title" "Title" |
◆ 2018年
学術論文・解説
| 1 | B. B. Sahu, H. Toyoda, J. G. Han "Effectiveness of plasma and radical control for the low temperature synthesis and properties of a-SiNx:H films using RF-near microwave PECVD" Phys. Plasmas 25 (2018) 023511 |
| 2 | 豊田 浩孝 "液体処理用マイクロ波励起プラズマの生成" 表面と真空 61 (2018) 113 |
| 3 | K. Sasai, K. Keyamura, H. Suzuki, H. Toyoda "Production of atmospheric pressure microwave plasma with dielectric half-mirror resonator and its application to polymer surface treatment" Jpn. J. Appl. Phys 57 (2018) 066201 |
| 4 | H. Senba, H. Suzuki and H. Toyoda "Atmospheric pressure water-vapor plasma in an air-shielded environment by water flow" Jpn. J. Appl. Phys 58 (2018) SAAC05 |
国際会議発表
| 1 | H. Suzuki, Y. Koike, Y. Tamura, Y. Baba, H. Toyoda "Power Absorption Mechanism of Atmospheric-Pressure Microwave Line Plasma" ISPlasma2018/IC-PLANTS2018, 05pB07O |
| 2 | Y. Koike, H. Suzuki, Y. Tamura, Y. Baba, H. Toyoda "Space-Resolved Measurement of Microwave Power along Waveguide in Atmospheric Pressure Microwave Line Plasma" ISPlasma2018/IC-PLANTS2018, 06P21 |
| 3 | H. Suzuki, H. Senba, H. Toyoda "Water-vapor Atmospheric Pressure Microwave Plasma in an Air-Shielded Environment by Water Flow" ISPlasma2018/IC-PLANTS2018, 06P29 |
| 4 | S. Fujimura, H. Suzuki, K. Sasai, H. Toyoda "A Coaxial-Waveguide Microwave Plasma Source for In-Line Treatment of Large Volume Liquid" ISPlasma2018/IC-PLANTS2018, 06P24 |
| 5 | K. Udagawa, A. Mitsuya, H. Suzuki, H. Toyoda "Oxygen Negative Ion Behavior in a VHF-superposed DC Magnetron Sputtering" ISPlasma2018/IC-PLANTS2018, 06P23 |
| 6 | H. Toyoda [Invited] "Meter-scale atmospheric-pressure microwave plasma for molecular gas processes" 19th International Congress on Plasma Physics, JUNE4-PM1-PA-2 |
| 7 | H. Toyoda, H. Suzuki, Y. Koike, H. Koma, Y. Baba, J.H. Qiu, M.H. Chu, A. Sugiyama "Long-scale atmospheric-pressure microwave plasma -production mechanism and its application-" JAPAN-RUB Workshop on Plasma Science |
| 8 | H. Toyoda, H. Suzuki [Invited] "Surface Roughness Control of ITO Films by VHF Superposed DC Magnetron Plasma" THERMEC2018, H5 July-11 13:00 P161 |
| 9 | I. Ganachev, H. Suzuki, H. Toyoda "Scaling of Microwave Absorption in Atmospheric Pressure Microwave Line Plasma" The Eighteenth Biennial IEEE Conference on Electromagnetic Field Computation, PID, 5498177 |
| 10 | H. Toyoda, K. Udagawa, A. Mitsuya, H. Bae, H. Suzuki "Influence of magnetic field on high-energy negative ion behavior in magnetron plasma with oxide targets" 2nd Asia-Pacific Conference on Plasma Physics |
| 11 | H. Suzuki [Invited] "Optimal design of atmospheric-pressure plasma source for industrial application" The 40th International Symposium on Dry Process |
| 12 | S. Fujimura, S. Yang, K. Sasai, H. Suzuki and H. Toyoda "Ring-shaped microwave plasma production in liquid flow environment for nanoparticle synthesis" The 40th International Symposium on Dry Process |
| 13 | S. Ishikawa, H. Suzuki, T. Honda, and H. Toyoda "High speed photoresist removal using slot-excited atmospheric-pressure microwave O2/CF4 plasma" The 40th International Symposium on Dry Process |
国内会議・研究会発表
| 1 | 豊田 浩孝 [招待] "質量分析を用いた粒子計測の基礎 ―計測原理から分析応用まで―" 第30回専門講習会「プロセスプラズマ診断の基礎」 |
| 2 | 鈴木 陽香 [招待] "大面積かつ高速表面処理のための大気圧プラズマ装置開発" 最先端プラズマプロセス：未来への挑戦 ―産官学連携による新たなイノベーション― |
| 3 | 小池 洋右，田村 宥人，鈴木 陽香，豊田 浩孝 "大気圧長尺マイクロ波プラズマにおける電力吸収の空間分布" 第65回応用物理学会春季学術講演会, 17p-C204-20 |
| 4 | 藤村 昇平, 鈴木 陽香, 笹井 建典, 豊田 浩孝 "同軸導波管の外部導体ギャップ間におけるマイクロ波プラズマ生成" 第65回応用物理学会春季学術講演会, 17p-C204-13 |
| 5 | 宇田川 洸，三矢 晶洋，鈴木 陽香，豊田 浩孝 "マグネトロンスパッタリングにおける負イオンの数値解析による評価" 第65回応用物理学会春季学術講演会, 17p-C204-8 |
| 6 | K. Udagawa, S. Fukuda, H. Suzuki, Y. Tauchi, H. Toyoda "Potential Control of Surface Wave Plasma by Applying DC Pulse Voltage to a Microwave Antenna" 第78回応用物理学会秋季学術講演会, 18a-234A-4 |
| 7 | 石川 翔太, 鈴木 陽香, 本田 剛, 豊田 浩孝 "大気圧マイクロ波励起O2/CF4プラズマによるフォトレジスト除去処理 " 第78回応用物理学会秋季学術講演会, 20p-438-6 |
| 8 | 小池 洋右, 小間 浩嗣, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝 "電磁界シミュレーションを用いた大気圧長尺マイクロ波プラズマにおける定在波抑制" 第78回応用物理学会秋季学術講演会, 20p-PA5-1 |
| 9 | 鈴木 陽香, 小池 洋右, 小間 浩嗣, 馬場 賀己, 豊田 浩孝 "メートル級長尺大気圧マイクロ波プラズマの顕微計測" 第78回応用物理学会秋季学術講演会, 20p-PA5-6 |
| 10 | 藤村 昇平, 楊 少菲, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝 "流動液体マイクロ波プラズマによるナノ粒子生成" 第78回応用物理学会秋季学術講演会, 21p-PB2-4 |
| 11 | 小間 浩嗣, 小池 洋右, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝 "大気圧メートル級長尺マイクロ波ラインプラズマの顕微計測" 平成30年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会, G1-2 |
| 12 | 馬場 賀己, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝 "スロット励起大気圧マイクロ波プラズマにおけるスロット断面構造の顕微観測" 平成30年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会, G1-3 |
| 13 | 三矢 晶洋, 宇田川 洸, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝 "酸化物ターゲットを用いたマグネトロンスパッタにおける酸素負イオンフラックスの空間分布の数値解析" 平成30年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会, G3-6 |
| 14 | 福田 奨, 宇田川 洸, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝, 田内 裕基 "表面波プラズマアンテナへのDC パルス電圧印加によるプラズマ電位制御 " 平成30年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会, G3-7 |
| 15 | 鈴木 陽香, 豊田 浩孝 [招待] "大気圧下でのメートル級マイクロ波プラズマの生成と応用" プラズマ核融合学会 第35回年会 |
| 16 | BAE Hansin，小池 洋右, 小間 浩嗣, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝 "大気圧マイクロ波ラインプラズマにおける酸素原子の紫外吸収分光計測" プラズマ核融合学会 第35回年会,4Pa16 |
| 17 | 森山 誠, 三矢 晶洋, 中原 尚哉, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝 "二周波重畳容量結合プラズマの基本特性評価" プラズマ核融合学会 第35回年会,4Pa82 |
| 18 | 鈴木 陽香 [招待] "新規大気圧マイクロ波プラズマ源の開発と応用" 高機能トライボ表面プロセス部会 第12回例会「トライボロジーと表面技術」 |
| 19 | 石川 翔太, 鈴木 陽香, 本田 剛, 豊田 浩孝 "大気圧マイクロ波O2/CF4プラズマを用いた有機物除去処理" 第28回 日本MRS年次大会,C3-P18-006, |
| 20 | 鈴木 陽香, 豊田 浩孝 [招待] "スロット励起マイクロ波プラズマを用いた水蒸気プラズマ処理プロセス" 第28回 日本MRS年次大会,C3-119-007 |
表彰
| 1 | 鈴木 陽香, 小池 洋右, 小間 浩嗣, 馬場 賀己, 豊田 浩孝 2018年秋季学術講演会PosterAward「メートル級長尺大気圧マイクロ波プラズマの顕微計測」 第79回応用物理学会秋季学術講演会, 20p-PA5-6 |
◆ 2017年
学術論文・解説
| 1 | M. Ito, T. Takahashi, S. Takitou, S. Takashima, N. Nomura, T. Kitagawa, H. Toyoda "Enhancement of liquid treatment efficiency by microwave plasma under flow-induced reduced pressure" Jpn. J. Appl. Phys. 56 (2017) 026201 |
| 2 | H. Suzuki, H. Toyoda "An approach to line-shaped nitrogen plasma production at atmospheric pressure by slot-excited microwave discharge" Jpn. J. Appl. Phys. 56 (2017) 116001 |
| 3 | T. Suyama, H. Bae, K. Setaka, H. Ogawa, Y. Fukuoka, H. Suzuki, H. Toyoda "Quantitative evaluation of high-energy O- ion particle flux in a DC magnetron sputter plasma with an indium-tin-oxide target" J. Phys. D: Appl. Phys 50 (2017) 445201 |
国際会議発表
| 1 | H. Toyoda [Invited] "Introduction to Plasma Production -from Breakdown to Plasma Sustainment-" ISPlasma2017/IC-PLANTS2017, 01pE01TU |
| 2 | H. Suzuki, Y. Tamura, Y. Inomata, H. Itoh, M. Sekine, M. Hori, H. Toyoda "Lomg-scale N2 Line Plasma Production under Atmospheric Pressure" ISPlasma2017/IC-PLANTS2017, 02pB10O |
| 3 | H. Bae, T. Suyama, K. Setaka, H. Suzuki, H. Toyoda "Measurement of Directional Heat Flux Component in VHF-Magnetron Sputtering" ISPlasma2017/IC-PLANTS2017, 04aB05O |
| 4 | H. Senba, Y. Koike, H. Suzuki, H. Toyoda "Shielding of Plasma Jets from Ambient Air by Water Flow" ISPlasma2017/IC-PLANTS2017, 02P60 |
| 5 | M. Yamamoto, S. Ishikawa, H. Suzuki, H. Toyoda "Film Quality Improvement in Slot-type Microwave Plasma CVD of SiO2" ISPlasma2017/IC-PLANTS2017, 04P44 |
| 6 | H. Suzuki [Invited] "Development of Atmospheric Pressure Microwave Plasma Source for Large-area Surface Treatment" The 22nd KJ Workshop |
| 7 | H. Suzuki [Invited] "Microwave Plasma Production inside the Micro-gap with Meter-scale Length" IWM2017 |
| 8 | H. Toyoda, H. Bae, T. Suyama, K. Setaka, H. Suzuki "Quantitative Evaluation of High-Energy Oxygen Negative Ion Flux in DC Magnetron Sputtering of Indium-Tin-Oxide" ICPIG2017 |
| 9 | H. Suzuki, Y. Tamura, Y. Inomata, H. Toyoda "Meter -scale microwave plasma production with various discharge gases for large-area surface treatment under atmospheric pressure" ICPIG2017 |
| 10 | H. Suzuki [Invited] "Meter -scale microwave plasma production with various discharge gases for large-area surface treatment under atmospheric pressure" IUMRS-ICAM2017, C5-I31-010 |
| 11 | S. Ishikawa , M. Yamamoto, H. Suzuki, H. Toyoda "Improvement of SiO2 film properties synthesized by plasma-enhanced chemical vapor deposition using slot-type microwave plasma with O2/TEOS" IUMRS-ICAM2017, C5-P31-015 |
| 12 | H. Toyoda, K. Udagawa, H. Suzuki, T. Suyama and H. Bae "Oxygen Negative Ion Flux Evaluation in DC and DC-VHF Magnetron Plasmas through Directional Heat Flux Measurement" AEPSE2017, S2-PO09 |
| 13 | H. Toyoda [Invited] "Production of long-scale atmospheric pressure microwave plasma" AAPS-DPP2017, A-123 |
国内会議発表
| 1 | H. Suzuki, Y. Tamura, Y. Inomata, H. Itoh, M. Sekine, M. Hori, H. Toyoda "Efficient production of meter-scale atmospheric-pressure line plasma using modified microwave waveguide and cw microwave power" 34th Symposium on Plasma Processing, 17aB1 |
| 2 | Y. Tamura, H. Suzuki, Y. Inomata, H. Itoh, M. Sekine, M. Hori, H. Toyoda "Electromagnetic field simulation of modified ridge waveguide for long line plasma production" 34th Symposium on Plasma Processing, P1-7 |
| 3 | K. Tsutsumi, S. Takitou, S. Fujimura, M. Ito, S. Takashima, H. Suzuki, H. Toyoda "Enhancement of organic decomposition efficiency by high-flow-speed in-line microwave plasma treatment" 34th Symposium on Plasma Processing, P1-10 |
| 4 | H. Bae, T. Suyama, H. Suzuki, H. Toyoda "Spatial variation of heat flux in a VHF-superposed DC magnetron plasma with Indium-Tin-Oxide target" 34th Symposium on Plasma Processing, P2-20 |
| 5 | 田村 宥人，猪俣 弥雄起，鈴木 陽香，豊田 浩孝 "マイクロ波励起長尺大気圧プラズマにおけるプラズマ維持機構の検討" 第64回応用物理学会春季学術講演会，14p-P1-2 |
| 6 | 仙波輝，小池洋右，鈴木陽香，豊田浩孝 "水流により遮蔽された空間での大気圧プラズマジェット生成" 第64回応用物理学会春季学術講演会，14p-P1-4 |
| 7 | 堤 和紀，滝藤 奨，藤村 昇平，鈴木 陽香，豊田 浩孝 "マイクロ波インライン液体処理における反応領域の空間分布計測" 第64回応用物理学会春季学術講演会，14p-P9-24 |
| 8 | 鈴木 陽香，田村 宥人，猪俣 弥雄起，関根 誠，堀 勝，豊田 浩孝 [招待] "マイクロ波励起メートル級大気圧プラズマの生成とその特性" 第64回応用物理学会春季学術講演会，17p-315-1 |
| 9 | 鈴木 陽香 [招待] "高速表面処理に向けた新しい大気圧プラズマ源の開発" プラズマ材料科学153委員会30周年記念講演会 |
| 10 | 鈴木 陽香，小池 洋右, 田村 宥人, 馬場 賀己, 豊田 浩孝 "スロット励起大気圧マイクロ波プラズの電力消費に関する電磁界シミュレーョン " 第78回応用物理学会秋季学術講演会, 7a-A413-7 |
| 11 | 田村 宥人，小池 洋右, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝 "大気圧マイクロ波ラインプラズマにおける電力吸収機構" 第78回応用物理学会秋季学術講演会, 7a-A413-8 |
| 12 | 仙波 輝, 小池 洋右, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝 "水流により遮蔽された空間での水蒸気マイクロ波プラズ生成" 第78回応用物理学会秋季学術講演会, 7p-A413-8 |
| 13 | 堤 和紀 ，藤村 昇平, 鈴木 陽香，豊田 浩孝 "マイクロ波インライン液体処理における反応領域のその場計測" 第78回応用物理学会秋季学術講演会, 7p-PA6-6-8 |
| 14 | 小池 洋右，田村 宥人，馬場 賀己，鈴木 陽香，豊田 浩孝 "スロット励起大気圧マイクロ波プラズマにおける消費電力シミュレーション" 平成29年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会、L4-1 |
| 15 | 宇田川 洸，鈴木 陽香，豊田 浩孝 "VHF-DC重畳マグネトロンプラズマにおける高エネルギーO-イオンに由来する熱フラックスの評価" 平成29年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会、L4-3 |
| 16 | 石川 翔太，鈴木 陽香，豊田 浩孝 "スロット励起大気圧マイクロ波プラズマCVDによるSiO2薄膜形成" 平成29年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会、L4-5 |
| 17 | 藤村 昇平, 堤 和紀, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝 "空間分解型吸収分光装置を用いたプラズマによる有機溶質分解過程の調査" 平成29年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会、L5-1 |
表彰
| 1 | Bae Hansin 電気学会優秀論文発表賞 「Evaluation of O- Ion Flux in VHF-DC Magnetron Sputtering」 平成28年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会, K3-3 |
| 2 | 鈴木 陽香 応用物理学会講演奨励賞 「改良型導波管構造によるマイクロ波励起純窒素大気圧ラインプラズマの生成」 第77回応用物理学会秋季学術講演会, 15a-B7-1 |
| 3 | 堤和紀, 藤村昇平, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝 2017年秋季学術講演会PosterAward「マイクロ波インライン液体処理における反応領域のその場計測」 第78回応用物理学会秋季学術講演会, 7p-PA6-6 |
◆ 2016年
学術論文・解説
| 1 | K. Sasai, H. Suzuki, H. Toyoda "Low-pressure sustainment of surface-wave microwave plasma with modified microwave coupler" Jpn. J. Appl. Phys. 55 (2016) 016203 |
| 2 | H. Suzuki, S. Nakano, H. Itoh, M. Sekine, M. Hori, H. Toyoda "Characteristics of an atmospheric-pressure line plasma excited by 2.45GHz microwave travelling wave" Jpn. J. Appl. Phys. 55 (2016) 01AH09 |
| 3 | T. Takaba, H. Suzuki, H. Toyoda "Desorption behavior of zinc atoms from zinc-sulfate solution irradiated with pulsed DC plasma" J. Phys. D: Appl. Phys. 49 (2016) 295202 |
| 4 | K. Sasai, T. Hagihara, T. Noda, H. Suzuki, H. Toyoda "Magnet-free uniform sputtering of dielectric film by RF and microwave power superposition" Jpn. J. Appl. Phys. 55 (2016) 086202 |
国際会議発表
| 1 | K. Sasai, H. Suzuki, H. Toyoda "Low Pressure Sustainment of Surface-Wave Microwave Plasma with Modified Microwave Coupler (MMC-SWP)" ISPlasma2016/IC-PLANTS2016, 09P28 |
| 2 | H. Suzuki, H. Itoh, M. Sekine, M. Hori, H. Toyoda "High-Speed-Camera Observation of Plasma Behavior in Atmospheric-Pressure Microwave Line Plasma" 7th International Workshop on Plasma Spectroscopy (IPS 2016), P-03 |
| 3 | H. Toyoda, T. Takaba, H. Suzuki "Two-Dimensional Atomic Absorption Spectroscopy of Plasma-Stimulated Zn Atom Desorption from ZnSO4 Solution" 7th International Workshop on Plasma Spectroscopy (IPS 2016), P-04 |
| 4 | H. Toyoda [Invited] "Development of microwave plasma sources and its applications" The 6th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology (ICMAP2016), WB2-1 |
| 5 | H. Suzuki, S. Takitou, H. Toyoda "Improvement of Liquid Treatment Efficiency using Microwave In-Line Plasma System with Narrow Flow Path" The 6th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology (ICMAP2016), WP-46 |
| 6 | H. Toyoda, M. Yamamoto, H. Suzuki "High speed deposition of SiO2 film by slot-type microwave CVD system" 69th Annual Gaseous Electronics Conference, MW6-106 |
| 7 | H. Suzuki, Y. Tamura, H. Itoh, M. Sekine, M. Hori, H. Toyoda "100% N2 atmospheric-pressure microwave-line-plasma production with a modi ed waveguide structure" 69th Annual Gaseous Electronics Conference, NW3-7 |
| 8 | H. Toyoda, T. Suyama, B. Hansin, H. Suzuki "Evaluation of O- ion flux in a VHF-DC magnetron plasma under ITO sputtering process" 38th International Symposium on Dry Process (DPS2016) |
| 9 | H. Suzuki, M. Yamamoto, H. Toyoda "Plasma-enhanced chemical vapor deposition of SiO2 films by slot type microwave plasma with O2/TEOS" 38th International Symposium on Dry Process (DPS2016) |
国内会議発表
| 1 | 滝藤 奨，伊藤 美智子, 高島 成剛, 野村 記生, 北川 富則, 豊田 浩孝 "マイクロ波プラズマ液体処理におけるエネルギー効率の向上" 第63回応用物理学会春季学術講演会, 19p-P5-2 |
| 2 | 山本 匡毅，鈴木 陽香，豊田 浩孝 "スロット内生成マイクロ波プラズマを用いた高速プラズマCVD" 第63回応用物理学会春季学術講演会, 19p-P6-3 |
| 3 | 巣山 拓，福井 崇史，瀬高 健太，笹井 健典，豊田 浩孝 "VHF-DC重畳マグネトロンスパッタによる平坦性向上機構の検討" 第63回応用物理学会春季学術講演会, 22a-W611-3 |
| 4 | 田村 宥人，鈴木 陽香，伊藤 仁，関根 誠，堀 勝，豊田 浩孝 "窒素ガスを用いたマイクロ波大気圧ラインプラズマの生成" 平成28年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会, K4-1 |
| 5 | H. Bae, T. Suyama, K. Setaka, K. Sasai, H. Suzuki, H. Toyoda "Evaluation of O- Ion Flux in VHF-DC Magnetron Sputtering" 平成28年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会, K3-3 |
| 6 | 鈴木 陽香，田村 宥人，伊藤 仁，関根 誠，堀 勝，豊田 浩孝 "改良型導波管構造によるマイクロ波励起純窒素大気圧ラインプラズマの生成" 第77回応用物理学会秋季学術講演会, 15a-B7-1 |
| 7 | 巣山 拓，Bae Hansin，瀬高 健太，笹井 建典，鈴木 陽香，豊田 浩孝 "ITO マグネトロンスパッタにおける酸素負イオンフラックス評価" 第77回応用物理学会秋季学術講演会, 15p-P6-7 |
| 8 | 滝藤 奨，伊藤 美智子，高島 成剛，野村 記生，北川 富則，豊田 浩孝 "インラインマイクロ波プラズマの流路狭小化による液体処理性能向上" 第77回応用物理学会秋季学術講演会, 16a-B13-6 |
| 9 | 山本 匡毅，鈴木 陽香，豊田 浩孝 "O2/TEOS スロット型マイクロ波プラズマCVD によるSiO2 膜形成" 第77回応用物理学会秋季学術講演会, 16p-B7-4 |
| 10 | 豊田 浩孝 [招待] "大気圧高密度マイクロ波プラズマの生成とその応用" 2016年真空・表面科学合同講演会, 1Cp07 |
| 11 | 豊田 浩孝, 巣山 拓, Bae Hansin, 鈴木 陽香 "マグネトロンプラズマ中の高エネルギー負イオンフラックスの評価" 第３３回プラズマ・核融合学会 年会, 01aP07 |
| 12 | 豊田 浩孝 [招待] "酸化物ターゲットを用いたスパッタリングにおける酸素負イオン挙動" 平成２８年度負イオン研究会「負イオンとビーム/科学と技術の協奏」 |
表彰
| 1 | 滝藤 奨 電気学会優秀論文発表賞B賞 「ベンチュリ効果を用いたマイクロ波プラズマ液体処理装置の性能向上」 平成27年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会, E4-4 |
| 2 | H. Suzuki, S. Takito, H. Toyoda The Best Poster Award "Improvement of liquid treatment efficiency using microwave in-line plasma system with narrow flow path" The 6th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology (ICMAP2016) |
◆ 2015年
学術論文・解説
| 1 | H. Suzuki, S. Nakano, H. Itoh, M. Sekine, M. Hori, H. Toyoda "New line plasma source excited by 2.45 GHz microwave at atmospheric pressure" Appl. Phys. Express 8 (2015) 036001 |
国際会議発表
| 1 | H. Suzuki, S. Nakano, H. Itoh,M. Sekine, M. Hori, H. Toyoda "Gas Temperature Measurement in Atmospheric-Pressure Microwave Line Plasmas" ISPlasma2015/IC-PLANTS2015, A5-P-01 |
| 2 | M. Ito, S. Takashima, N. Nomura, T. Kitagawa, H. Toyoda "Influence of Solution Temperature on Processing Performance by In-line Plasma Treatment Device" ISPlasma2015/IC-PLANTS2015, A6-P-22 |
| 3 | H. Toyoda [Invited] "Toward Real Uniform Sputtering - Spatial Uniformity of Thickness and Quality -" AEPSE 2015, p.48 |
| 4 | H. Suzuki, S. Nakano, H. Itoh, M. Sekine, M. Hori, H. Toyoda "Desorption of Alkaline Metals from Electrolyte Liquid Contacting with a DC Pulsed-Plasma" AEPSE 2015, p.82 |
| 5 | M. Ito, S. Takashima, N. Nomura, T. Kitagawa, H. Toyoda "Optimization of In-line Plasma Treatment Performance" AEPSE 2015, p.89 |
| 6 | K. Setaka, T. Fukui, T. Suyama, K. Sasai, H. Toyoda "Evaluation of Heat Flux to Film Surface in DC-VHF Superposed Magnetron Plasma" 21st KJ Workshop |
| 7 | T. Nishikawa, H. Toyoda "Ultraviolet Light Source Using Electrodeless Microwave Discharge" GEC-68/ICRP-9/SPP-33, GT1-123 |
| 8 | H. Suzuki, S. Nakano, H. Itoh, M. Sekine, M. Hori, H. Toyoda "Application of Atmospheric-Pressure Microwave Line Plasma for Low Temperature Process" GEC-68/ICRP-9/SPP-33, KW4-4 |
| 9 | K. Setaka, T. Fukui, T. Suyama, K. Sasai, H. Toyoda "Origin of Substrate Heating During Oxide Film Deposition by DC Magnetron Discharge and Superposition of VHF Power" GEC-68/ICRP-9/SPP-33, LW1-43 |
| 10 | S. Takitou, M. Ito, S. Takashima, N. Nomura, T. Kitagawa, H. Toyoda "Development of High-Throughput Liquid Treatment System using Slot Antenna Excited Microwave Plasma" GEC-68/ICRP-9/SPP-33, LW1-92 |
| 11 | M. Ito, S. Takashima, N. Nomura, T. Kitagawa, H. Toyoda "Organic Decomposition Performance of In-line Liquid Treatment System Using Microwave Plasma" GEC-68/ICRP-9/SPP-33, LW1-93 |
| 12 | T. Fukui, T.Suyama, Y.Fukuoka, K.Sasai, H.Toyoda "Surface Roughness Control of DC Sputter Film Deposition by Superposition of VHF Power" GEC-68/ICRP-9/SPP-33, WF2-4 |
国内会議発表
| 1 | 鈴木 陽香，中野 優，伊藤 仁，関根 誠，堀 勝，豊田 浩孝 "大気圧マイクロ波ラインプラズマにおけるプラズマ挙動シミュレーション" 第62回応用物理学会春季学術講演会, 12p-P9-3 |
| 2 | 伊藤 美智子, 高島 成剛, 野村 記生, 北川 富則, 豊田浩孝 "パルスマイクロ波プラズを用いたインラ溶液処理装置における処理性能のDuty比依存性" 第62回応用物理学会春季学術講演会, 12p-P9-4 |
| 3 | 福井 崇史, 福岡 侑士, 高田 昇治, 笹井 建典, 豊田 浩孝 "VHF-DC 重畳マグネトロンスパッタにおける成膜速度評価" 第62回応用物理学会春季学術講演会, 13a-A27-1 |
| 4 | 瀬高 健太、豊田 浩孝 "吸収分光法によるArパルスマイクロ波プラズマのガス温度時分解測定" 第62回応用物理学会春季学術講演会, 13a-P10-1 |
| 5 | 西川 拓、豊田 浩孝 "マイクロ波プラズマを用いた無電極紫外ランプの開発" 第62回応用物理学会春季学術講演会, 13a-P11-1 |
| 6 | 西川 拓、豊田 浩孝 "マイクロ波プラズマを用いた無電極紫外ランプの温度分布" 第76回応用物理学会秋季学術講演会, 15p-2Q-2 |
| 7 | 瀬高 健太, 福井 崇史, 笹井 建典, 豊田 浩孝 "吸収分光法によるVHF-DC 重畳マグネトロンプラズマのガス温度測定" 第76回応用物理学会秋季学術講演会, 15p-2V-12 |
| 8 | H. Suzuki, S. Nakano, H. Itoh, M. Sekine, M. Hori, H. Toyoda "Low Temperature Treatment using Atmospheric-Pressure Microwave Line Plasma" 第76回応用物理学会秋季学術講演会, 15p-2V-21 |
| 9 | 福井 崇史, 巣山 拓, 福岡 侑士, 笹井 建典, 豊田 浩孝 "VHF -DC 重畳 マグネトロンスパッタにおける膜表面粗さの制御" 第76回応用物理学会秋季学術講演会, 15p-PV2-31 |
| 10 | 巣山 拓，福井 崇史，福岡 侑士，笹井 建典，豊田 浩孝 "VHF-DC重畳マグネトロンスパッタにおける膜特性の評価" 平成27年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会, E3-6 |
| 11 | 山本 匡毅，鈴木 陽香，豊田 浩孝 "スロット内生成マイクロ波プラズマの基礎的検討" 平成27年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会, E4-2 |
| 12 | 滝藤 奨，伊藤 美智子, 高島 成剛, 野村 記生, 北川 富則, 豊田 浩孝 "ベンチュリ効果を用いたマイクロ波プラズマ液体処理装置の性能向上" 平成27年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会, E4-4 |
| 13 | 鈴木 陽香，中野 優，伊藤 仁，関根 誠，堀 勝，豊田 浩孝 "大気圧マイクロ波放電による長尺ラインプラズマの生成と基礎特性" 第３２回プラズマ・核融合学会 年会, 26pC07 |
| 14 | 西川 拓，豊田 浩孝 "マイクロ波プラズを用いた高圧無電極紫外ランプの試作とその長尺化の検討" 第30回光源物性とその応用研究会, PE-15-03 |
表彰
| 1 | 鈴木 陽香 若手学会発表賞 「大気圧マイクロ波放電による長尺ラインプラズマの生成と基礎特性」 第３２回プラズマ・核融合学会年会, 26pC07 |
◆ 2014年
学術論文・解説
| 1 | T. Takahashi, N. Takada, H. Toyoda "Synergistic effect of microwave plasma and ultrasonic wave on decomposition of organic compounds in water" Jpn. J. Appl. Phys. 53 (2014) 07KE01 |
| 2 | D. Iino, Y. Fujii, T. Oike, H. Toyoda "Influence of Si Substrate Temperature and Bias Voltage on Surface Reaction of Br Radical in HBr Inductively Coupled Plasma" JPS Conf. Proc. 1 (2014) 015070 |
| 3 | 豊田 浩孝 "酸化物ターゲットを用いたRFマグネトロンプラズマにおける高エネルギー粒子の挙動" J. Vac. Soc. Jpn. 57 (2014) 80 |
国際会議発表
| 1 | T. Hagihara, T. Noda, H. Toyod "Development of Magnet-Free Uniform Sputtering System by RF and Microwave Power Superposition" ICRP-8/SPP-31, p.16 |
| 2 | N. Takada, S. Kondo, S. Nakano, K. Sasai, H. Toyoda "Production of high-density meter-length plasma with metal-covered slot antenna" ICRP-8/SPP-31, p.24 |
| 3 | K. Egashira, H. Toyoda "Dependence of Electron density on Pulse-OFF Time in an Atmospheric Pulse Microwave Discharge" ICRP-8/SPP-31, p.24 |
| 4 | H. Suzuki, S. Nakano, H. Itoh, M. Sekine, M. Hori, H. Toyoda "Meter-Scale Production of Atmospheric Pressure Microwave Plasma by Travelling Wave" ICRP-8/SPP-31, p.37 |
| 5 | H. Toyoda, K. Egashira "Time- and space-resolved measurement of electron density in an atmospheric pressure microwave plasma" The 18th International Workshop of Advanced Plasma Processing and Diagnostics, p.8 |
| 6 | H. Suzuki, T. Takaba, H. Toyoda "Release Behavior of Metal Atom from Solution Surface Contacting to Plasma" The 18th International Workshop of Advanced Plasma Processing and Diagnostics, p.16 |
| 7 | H. Toyoda, T. Takahashi, N. Takada "Advanced microwave plasma technology for liquid treatment" 46th Annual Winter Conference following a special symposium, p.121 |
| 8 | M. Ito, S. Takashima, N. Nomura, T. Kitagawa, H. Toyoda "Decomposition of Phenol by Pulsed Microwave Plasma Generated in the Vicinity of a Fluid Flow Path" ISPlasma2014/IC-PLANTS2014, 03pP16 |
| 9 | S. Kondo, K. Sasai, N. Takada, H. Toyoda "Design of Meter-Scale Compact Microwave Antenna Structure by Electromagnetic Simulation" ISPlasma2014/IC-PLANTS2014, 03pP20 |
| 10 | K. Egashira, H. Toyoda "Influence of Discharge-off Duration on the Plasma Density in an Atmospheric-pressure Pulsed Microwave Discharge" ISPlasma2014/IC-PLANTS2014, 03pP21 |
| 11 | H. Suzuki, S. Nakano, H. Itoh, M. Sekine, M. Hori, H. Toyoda "Gas Temperature Measurement in Atmospheric-Pressure Microwave Line Plasmas" ISPlasma2014/IC-PLANTS2014, 03pP22 |
| 12 | S. Nakano, H. Suzuki, H. Itoh, M. Sekine, M. Hori, H. Toyoda "Spatiotemporal Resolved Investigations of Atmospheric Pressure Line Plasma" ISPlasma2014/IC-PLANTS2014, 03pP23 |
| 13 | T. Takaba, H. Suzuki, H. Toyoda "Spatio-temporal Behavior of Alkaline Metals in a DC Pulsed-Plasma with Liquid Electrode" ISPlasma2014/IC-PLANTS2014, 03pP25 |
| 14 | T. Hagihara, T. Noda, H. Toyoda "Magnet-Free Sputtering System Using Surface Wave Plasma" ISPlasma2014/IC-PLANTS2014, 05pP09 |
| 15 | Y. Fukuoka, H. Ogawa, K. Sasai, N. Takada, H. Toyoda "O- Energy Distribution in a VHF-Superimposed DC Magnetron Plasma" ISPlasma2014/IC-PLANTS2014, 05pP33 |
| 16 | Y. Fujii, D. Iino, H. Toyoda "Evaluation the reaction of Br radical at silicon surface in an Inductively Coupled HBr plasma" ISPlasma2014/IC-PLANTS2014, 06pP01 |
| 17 | H. Toyoda [Invited] "Development of compact UHF plasma source" The International Symposium on Plasma-Nano Materials and Processes |
| 18 | H. Toyoda, T. Hagihara "Novel sputtering system for uniform dielectric film deposition" International conference on microelectronics and plasma technology 2014, p.84 |
| 19 | Hirotaka Toyoda, Yushi Fukuoka, Takashi Fukui, Noriharu Takada, Kensuke Sasai "Discharge Characteristic of VHF-DC Superimposed Magnetron Sputtering System" GEC-67, p.67 |
| 20 | Hirotaka Toyoda, Haruka Suzuki, Suguru Nakano, Hitoshi Itoh, Makoto Sekine, Masaru Hori "Pseudo-continuous meter-scale microwave plasma production under atmospheric pressure" GEC-67 p.96 |
国内会議発表
| 1 | 中野 優，鈴木 陽香，伊藤 仁，関根 誠，堀 勝，豊田 浩孝 "メートル級マイクロ波大気圧ラインプズマの均一性評価" 第61回応用物理学会春季学術講演会,17p-F3-1 |
| 2 | 鈴木 陽香，中野 優，伊藤 仁，関根 誠，堀 勝，豊田 浩孝 "パルスマイクロ波励起大気圧ラインプラズマの空間分解計測" 第61回応用物理学会春季学術講演会,17p-F3-2 |
| 3 | 鷹羽 貴史，鈴木 陽香，高田 昇治，豊田 浩孝 "電解質溶液電極を用いたパルスDCプラズマにおける電解質由来金属原子の二次元吸収分光計測" 第61回応用物理学会春季学術講演会, 17p-F3-12 |
| 4 | 伊藤 美智子, 高島 成剛, 野村 記生, 北川 富則, 豊田浩孝 "液流路式マイクロ波プラズマの溶液処理性能評価" 第61回応用物理学会春季学術講演会, 17p-F3-13 |
| 5 | 福岡 侑士，小川 勇人, 高田 昇治, 豊田 浩孝 "パルスDC マグネトロンプラズマ中の酸素負イオン計測" 第61回応用物理学会春季学術講演会, 17p-F2-6 |
| 6 | 藤井 良隆 ，飯野 大輝 ,豊田 浩孝 "誘導結合型 誘導結合型 HBr プラズマにおける Br ラジカル表面損失確率の評価" 第61回応用物理学会春季学術講演会, 17p-F2-7 |
| 7 | 萩原 敏哉，野田 智紀，豊田 浩孝 "表面波プラズマ支援RF スパッタにおける絶縁性ターゲットの表面電位評価" 第61回応用物理学会春季学術講演会, 17p-F1-3 |
| 8 | 福井 崇史，福岡 侑士，高田 昇治, 笹井 建典, 豊田 浩孝 "VHF-DC 重畳マグネトロンプラズマ装置の特性評価" 平成26年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会, C2-4 |
| 9 | 瀬高 健太，豊田 浩孝 "吸収分光法によるAr プラズマの中性粒子温度測定" 平成26年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会, Po2-30 |
| 10 | 古賀 翔太，豊田 浩孝 "ポータブルUHF プラズマ装置の開発" 平成26年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会, Po2-31 |
| 11 | 福岡 侑士，福井 崇史, 高田 昇治, 笹井建典，豊田 浩孝 "VHF-DC 重畳マグネトロンスパッタ装置の特性評価" 第75回応用物理学会秋季学術講演会, 17a-PB1-3 |
| 12 | H. Suzuki, S. Nakano, H. Itoh, M. Sekine, M. Hori, H. Toyoda "Plasma movement mechanism in pseudo-continuous meter-scale atmospheric-pressure line plasma" 第75回応用物理学会秋季学術講演会, 17p-S10-4 |
| 13 | 豊田 浩孝 "プラズマ技術とその産業応用" プラズマ技術講演会 第51回プラズマが拓くものづくり研究会 |
| 14 | 伊藤 美智子，高島 成剛，野村 記生，北川 富則，豊田浩孝 "インラインのプラズマ処理装置により生成される水溶液中のOHラジカル評価" Plasma Conference 2014, 18PB-106 |
| 15 | 鷹羽 貴史, 鈴木 陽香, 高田 昇治, 豊田 浩孝 "電解質溶液を電極としたパルスDCプラズマにおける液相由来金属原子の吸収分光計測" Plasma Conference 2014, 19aB-3 |
| 16 | 萩原 敏哉, 豊田 浩孝 "表面波プラズマ支援RFスパッタによるMgO薄膜の堆積" Plasma Conference 2014, 19aF-4 |
| 17 | 中野 優, 鈴木 陽香, 伊藤 仁, 関根 誠, 堀 勝, 豊田 浩孝 "狭ギャップスロットアンテナを用いた大気圧ラインプラズマ生成" Plasma Conference 2014, 19pF-5 |
表彰
| 1 | 中野 優 電気学会優秀論文発表賞B賞 「進行波重畳によるメートル級マイクロ波大気圧プラズマの生成」 平成25年度電気関係学会東海支部連合大会, D1-6 |
| 2 | 鷹羽 貴史 IEEE名古屋支部学生奨励賞「電解質溶液電極を用いた大気圧パルスDCプラズマにおける放出金属原子の時分解吸収分光計測」 平成25年度電気関係学会東海支部連合大会, D2-6 |
| 3 | K. Egashira, H. Toyoda Best Poster Presentation Award "Influence of Discharge - off Duration on the Plasma Density in an Atmospheric - Pressure Pulsed Microwave Discharge" ISPlasma2014/IC-PLANTS2014, 03pP21 |
| 4 | 萩原 敏哉 若手優秀発表賞 「表面波プラズマ支援RFスパッタによるMgO薄膜の堆積 」 Plasma Conference 2014, 19aF-4 |
◆ 2013年
学術論文・解説
| 1 | H. Itoh, Y. Kubota, Y. Kashiwagi, K. Takeda, K. Ishikawa, H. Kondo, M. Sekine, H. Toyoda, M. Hori "A Development of Atmospheric Pressure Plasma Equipment and Its Applications for Treatment of Ag Films Formed from Nano-Particle Ink" J. Phys.: Conf. Ser. 441 (2013) 012019 |
| 2 | D. Iino , Y. Nojiri, K. Suzuki, T. Oike, Y. Fujii, H. Toyoda "Influence of Oxygen Addition and Wafer Bias Voltage on Bromine Atom Surface Reaction in a HBr/Ar Inductively Coupled Plasma" Jpn. J. Appl. Phys. 52 (2013) 11NC01 |
| 3 | H. Itoh, Y. Kubota, Y. Kashiwagi, K. Takeda, K. Ishikawa, H. Kondo, H. Toyoda, M. Hori "High H Radical Density Produced by 1-m-Long Atmospheric Pressure Microwave Plasma System" Jpn. J. Appl. Phys. 52 (2013) 11NE01 |
国際会議発表
| 1 | H. Ogawa and H. Toyoda "Measurement of Electron-Impact Cross Section for Dissociation of CH2F2 into CH2F" The 16th International Workshop of Advanced Plasma Processing and Diagnostics, p.14 |
| 2 | T. Takahashi, N. Takada, H. Toyoda "Effect of Superposition of Ultrasonic Power on Microwave Plasma under Water" ISPlasma2013, p.69 |
| 3 | H. Suzuki, T. Takaba, N. Takada, H. Toyoda "Temporal Variation of Alkaline Metals in an Atmospheric-Pressure Pulsed-Plasma with Liquid Electrode" ISPlasma2013, p.73 |
| 4 | K. Egashira, T. Murase, H. Toyoda "Time-Resolved Measurement of Electric Field in Ar and N2 Atmospheric-Pressure Microwave Plasmas" ISPlasma2013, p.73 |
| 5 | T.Noda, M. Nakabo, H. Toyoda "Production of Surface-Wave Excited Plasma in Low Pressures" ISPlasma2013, p.76 |
| 6 | H. Ogawa, H. Toyoda "Absolute Cross Section Measurement for Electron-Impact Dissociation of CH2F2 into CH2F" ISPlasma2013, p.84 |
| 7 | S. Kondo, S. Nakano, H. Toyoda "Development of Compact Microwave Plasma Source and Its Application to Si Film Deposition" ISPlasma2013, p.133 |
| 8 | Y. Fujii, T. Oike, D. Iino, K. Suzuki, H. Toyoda "Measurement of Br Atom Density in an Inductively-Coupled HBr Plasma by Appearance Mass Spectrometry" ISPlasma2013, p.185 |
| 9 | H. Toyoda "Microwave Plasma Production - From Micro- to Meter-scale -" IC-PLANTS2013, I-05 |
| 10 | H. Ogawa, H.Toyoda "Absolute Dissociation Cross Section of CH2F2 into CH2F for Electron-Impact" IC-PLANTS2013, P-A8 |
| 11 | S. Kondo, S. Nakano, H. Toyoda "Deposition of Microcrystalline Silicon Thin Film by Compact Antenna Structure" IC-PLANTS2013, P-B2 |
| 12 | T. Takahashi, N. Takada, H. Toyoda "Synergistic Effect of Ultrasonic Wave on Microwave Excited Plasma Production under Water" IC-PLANTS2013, P-E1 |
| 13 | T. Noda, M. Nakabo, H. Toyoda "Surface-Wave Excited Plasma Produced in Low Pressures" IC-PLANTS2013, P-E2 |
| 14 | H. Suzuki, T. Takaba, N. Takada, H. Toyoda "Temporal and Spatial Variations of Atomic Metals in Atmospheric-Pressure Pulsed-Plasmas with Liquid Electrode" IC-PLANTS2013, P-H3 |
| 15 | H. Toyoda [Invited] "Influence of Ultrasonic Power Superposition to Microwave Plasma Produced under Water" 17th KJ Workshop |
| 16 | H. Suzuki, T. Takaba, N. Takada, H. Toyoda "Absorption Spectroscopy of Atomic Metal in Atmospheric-pressure Plasma with Electrolyte Solution Electrode" 17th KJ Workshop |
| 17 | D. Iino, Y. Fujii, T. Oike, H. Toyoda "Influence of Si Substrate Temperature and Bias Voltage on Surface Reaction of Br Radical in HBr Inductively Coupled Plasma" APPC12, p.161 |
| 18 | T. Noda, Hirotaka Toyoda "Development of Magnet-Free Uniform Sputtering System for Dielectric Film Deposition" DPS2013, pp.75-76 |
| 19 | S. Kondo, S. Nakano, H. Toyoda "Plasma Characteristics of Multipurpose Microwave Antenna and Its Application to Silicon Thin Film Deposition" DPS2013, pp.85-86 |
| 20 | K. Sasai, K. Ishikawa, H. Toyoda, H. Sugai "Surface Treatment of Three-Dimensional Product by Flexible Twin Microwave Plasma Source" DPS2013, pp.107-108 |
| 21 | T. Takahashi, N. Takada, H. Toyoda "Superposition of Ultrasonic Power on Microwave Plasma and Its Effect on Solution Treatment Efficiency" DPS2013, pp.123-124 |
| 22 | D. Iino, Y. Nojiri, K. Suzuki, T. Oike, Y. Fujii, H. Toyoda "Influence of gas addition and substrate bias voltage on Br radical behavior in HBr inductively coupled plasma" DPS2013, pp.141-142 |
| 23 | H. Ogawa, H. Toyoda "Cross section measurement of the neutral dissociation of CH2F2 by electron impact" DPS2013, pp.143-144 |
| 24 | H. Toyoda, S. Kondo, S. Nakano, N. Takada "High density plasma production by a Multipurpose Microwave Antenna" AEPSE 2013, pp.2-3 |
| 25 | H. Suzuki, S. Nakano, H. Itoh, M. Sekine, M. Hori, H. Toyoda "Electromagnetic Simulation of Long-Slotted Waveguide Antenna for Production of Meter-Scale Plasma under Atmospheric Pressure" GEC-66, p.25 |
| 26 | T. Noda,T. Hagihara, H. Toyoda "Development of Magnet-Free Sputtering System for Dielectric Film Deposition with Surface-Wave Excited Plasma" GEC-66, p.84 |
| 27 | H. Toyoda "Meter-Scale Atmospheric-Pressure Microwave Plasma Using Sub-Millimeter-Gap Slot" GEC-66, p.98 |
| 28 | H. Toyoda, T. Takahashi, T. Takaba, H. Suzuki, N. Takada "Water Treatment by High-Density Microwave Plasma" ICSE 2013, p.65 |
| 29 | H. Toyoda "Nano-scale film surface control by advanced sputtering system" THERMEC' 2013, p.616 |
国内会議発表
| 1 | 江頭 一輝，村瀬 卓也，豊田 浩孝 "シュタルク分光を用いたAr及びN2添加大気圧マイクロ波プラズマの時分解計測" 第３０回プラズマプロセシング研究会, p.141 |
| 2 | 小川 勇人，豊田 浩孝 "二電子ビーム法を用いたCH2F2への電子衝突によるCH2Fラジカル生成断面積測定" 第３０回プラズマプロセシング研究会, p.153 |
| 3 | 高橋 朋大，高田 昇治，豊田 浩孝 "マイクロ波液中プラズマ生成における超音波波動の影響" 第３０回プラズマプロセシング研究会, p.185 |
| 4 | 近藤 将吾，中野 優，豊田 浩孝 "コンパクトマイクロ波アンテナを用いた微結晶シリコン薄膜の生成" 第３０回プラズマプロセシング研究会, p.249 |
| 5 | 豊田 浩孝 "スパッタリングにおける高エネルギー粒子の発生とその制御" プラズマ材料科学第１５３委員会第108回研究会 |
| 6 | 江頭 一輝，村瀬 卓也，豊田 浩孝 "大気圧パルスマイクロ波プラズマにおける放電開始後のプラズマ挙動" 第60回応用物理学会春季学術講演会, 27p-PA4-1 |
| 7 | 飯野 大輝，野尻 康弘，鈴木 啓之，大池 匠，藤井良隆，豊田浩孝 "誘導結合型HBr プラズマ中のBr ラジカル挙動" 第60回応用物理学会春季学術講演会, 27p-A3-3 |
| 8 | 小川 勇人，豊田 浩孝 "CH2F2への電子衝突によるラジカル生成断面積の評価" 第60回応用物理学会春季学術講演会, 28a-A10-2 |
| 9 | 鈴木 陽香，鷹羽 貴史，高田 昇治，豊田 浩孝 "電解質溶液電極を用いた大気圧パルスプラズマにおける金属原子吸収分光計測" 第60回応用物理学会春季学術講演会, 28a-A10-6 |
| 10 | 近藤 将吾，中野 優，豊田 浩孝 "多目的マイクロ波アンテナを用いたプラズマ生成とSi薄膜形成への応用" 第60回応用物理学会春季学術講演会, 29p-PA1-5 |
| 11 | 野田 智紀，中坊 将人，豊田 浩孝 "低圧環境下における無磁場マイクロ波プラズマ生成と応用" 第60回応用物理学会春季学術講演会, 29a-B9-7 |
| 12 | 高橋 朋大，高田 昇治，豊田 浩孝 "超音波重畳マイクロ波液中プラズマによる液中有機物処理" 第60回応用物理学会春季学術講演会, 29p-B7-7 |
| 13 | 小川 勇人，福岡 侑士，豊田 浩孝 "VHF-DC重畳マグネトロンプラズマの生成とプラズマ計測" 第74回応用物理学会秋季学術講演会, 17a-C1-1 |
| 14 | 野田 智紀，萩原 敏哉，豊田 浩孝 "マイクロ波プラズマを用いた無磁場酸化物薄膜スパッタ装置の開発" 第74回応用物理学会秋季学術講演会, 18p-C5-6 |
| 15 | 近藤 将吾，中野 優、高田 昇治, 豊田 浩孝 "多目的マイクロ波アンテナの大面積化と高密度プラズマ生成" 第74回応用物理学会秋季学術講演会, 19p-C1-1 |
| 21 | 江頭 一輝 ，豊田 浩孝 "大気圧マイクロ波放電 におけるパルス停止時間のプラズマへの影響" 第74回応用物理学会秋季学術講演会, 19p-C1-7 |
| 22 | 鈴木 陽香 ，中野 優 ，伊藤 仁 ，関根 誠 ，堀 勝 ，豊田 浩孝 "新規アンテナ構造を用いたメートル級マイクロ波大気圧ラインプラズマの生成" 第74回応用物理学会秋季学術講演会, 19p-C1-8 |
| 23 | 高橋 朋大，高田 昇治，豊田 浩孝 "マイクロ波励起プラズマによる流体連続処理" 第74回応用物理学会秋季学術講演会, 19p-C2-14 |
| 24 | 中野 優，鈴木 陽香 ，関根 誠，堀 勝，豊田 浩孝，伊藤 仁 "進行波重畳によるメートル級マイクロ大気圧ランプズの生成" 平成25年度電気関係学会東海支部連合大会, D1-6 |
| 25 | 福岡 侑士，小川 勇人，豊田 浩孝 "VHF-DC重畳マグネトロンプラズマの生成及び特性評価" 平成25年度電気関係学会東海支部連合大会, D1-7 |
| 26 | 藤井 良隆，豊田 浩孝 "誘導結合型HBrプラズマにおけるBrラジカルの表面損失確率評価" 平成25年度電気関係学会東海支部連合大会, D1-8 |
| 27 | 鷹羽 貴史，鈴木 陽香, 高田 昇治, 豊田 浩孝 "電解質溶液電極を用いた大気圧パルスDCプラズマにおける放出金属原子の時分解吸収分光計測" 平成25年度電気関係学会東海支部連合大会, D2-6 |
| 28 | 萩原 敏哉，野田 智紀，豊田 浩孝 "表面波プラズマを用いた無磁場スパッタ装置の検討" 平成25年度電気関係学会東海支部連合大会, D3-1 |
| 29 | 豊田 浩孝 "大気圧パルスプラズマのプラズマ密度時分解計測とプラズマ挙動解析" 第29回 九州・山口プラズマ研究会 |
| 30 | 萩原 敏哉, 野田 智紀, 豊田 浩孝 "マイクロ波プラズマを用いた無磁場酸化物薄膜スパッタ装置の基礎的検討" 電気学会プラズマ研究会, PST-13-124 |
| 31 | T. Takahashi, N. Takada, Hirotaka Toyoda "Effect of superposing ultrasonic wave on microwave plasma under water" 第34回超音波エレクトロンの基礎と応用に関するシンポジウム, p.441 |
表彰
| 1 | 野田 智紀 連合大会奨励賞 「 低圧環境下における高密度マイクロ波プラズマの生成」 平成24年度電気関係学会東海支部連合大会, H1-1 |
◆ 2012年
学術論文・解説
| 1 | K. Usami, T. Ishijima, H. Toyoda "Rapid Plasma Treatment of Polyimide for Adhesive and Durable Copper Film Deposition" Thin Solid Films 521 (2012) 22 |
◆ 2011年
学術論文・解説
| 1 | T. Kuroda, M. Ikeda, T. Ishijima, H. Toyoda "Spatial Profile Measurement of SiH3 Radical Flux in SiH4/H2 Microwave Plasma by Modified Appearance Mass Spectrometry" Jpn. J. Appl. Phys. 50 (2011) 08JB05 |
| 2 | T. Ishijima, R. Saito, H. Sugihara, H. Toyoda "Refractory Organic Solute Decomposition in Water using Microwave Plasma" T. Mrs. Jap. 36 (2011) 475 |
| 3 | R. Saito, H. Sugiura, T. Ishijima, H. Toyoda "Influence of temperature and pressure on solute decomposition efficiency by microwave-excited plasma" Curr. Appl. Phys. 11 (2011) S195 |
| 4 | K. Ono, N. Oshima, K. Goto, H. Yamamoto, T. Morita, K. Kinoshita, T. Ishijima, H. Toyoda "Effect of O Ion Beam Irradiation during RF-Magnetron Sputtering on Characteristics of CoFeB-MgO Magnetic Tunnel Junctions" Jpn. J. Appl. Phys 50 (2011) 023001 |
| 5 | T. Ishijima, H. Toyoda, Y. Takanishi, H. Sugai "Design of Large-Area Surface Wave Plasma Excited by Slotted Waveguide Antennas with Novel Power Divider" Jpn. J. Appl. Phys 50 (2011) 036002 |