薄膜表面形状および磁気構造を測定します.プローブ位置を制御した微細加工も可能です.

装置仕様

Digital Instruments社製 Dimeinsion3100+Nonoscope IV
測定モード AFM(コンタクト,タッピング,ノンコンタクト)
      STM,MFM,EFM,LFM
      表面電位顕微鏡,電流像,リソグラフィー
スキャン領域:XY方向 約90μm,Z方向 約6μm
試料サイズ:最大150 mmφ−12 mmt
防音フード有

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