光リソグラフィー（マスク上の微細なパターンを光によりレジストに転写）を行う装置です．磁性薄膜の微細加工に用います．
装置仕様
MIKASA製 M-1S マスクサイズ：4 x 4 inch 試料サイズ：最大3 inchφ 露光光源：250W超高圧水銀灯 試料ステージ移動：X，Y方向 ±20 mm
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