BW-A501外観。
二光束干渉対物レンズやピエゾ素子による精密なz軸制御によって、 1ピコメートルレベルの高さ分解能を持っている。 そのため、薄膜の段差部を観察することで膜厚を測定することも可能である。
また、高さ情報をPC上でマッピングすることにより、試料表面の凹凸を三次元イメージとして表示する ことも可能である。
もちろん、通常の光顕としても使用可能であり、明暗視野観察、偏光観察、微分干渉観察、 蛍光観察などを行うことができる。
スペック
・光学顕微鏡： Nikon ECLIPSE LV150N
・計測光学系： 白色二光束干渉計
・光源： 水銀ランプ（中心波長 450-500 nm）
・z軸ピエゾ操作レンジ： 100 μm
・高さ分解能(z方向)： 1 pm(理論)、15 pm(実効)
・光学分解能(xy方向)： 3.73 μm
BW-A501外観。