管状電気炉の外観。
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この装置では、各種ガスをフローしながら作製した焼結体や
薄膜の熱処理を行うことができる。 酸化物超伝導体が超伝導状態を発現するためには、結晶構造中に 十分に酸素を含有している必要があるため、酸素ガスをフローしながら 超伝導体の焼結体やエピタキシャル薄膜の熱処理を行っている。 また、エピタキシャル成長の土台となる基板の前処理にも使用されている。 当研究室では、同型の管状電気炉を三台所有しており、研究の効率化、高速化を 行っている。 スペック ・最高温度: 1,100oC ・雰囲気: 各種ガスフローによって変更可能 |