走査型電子顕微鏡外観。
エネルギー分散型X線分光分析器(EDS)も付属。
走査型電子顕微鏡 (Scanning Electron Microscopy, SEM)は、 細く絞った電子線で試料表面を走査し、その電子線によって生じた 二次電子の強度を検出・画像化することで、 高倍率の表面像を得ることができる。
二次電子と同時に放出される後方反射電子(Back Scattered Electrons, BSE) を検出・画像化することも可能であり、組成像なども得られる。
また、付属のエネルギー分散型X線分光分析器によって元素分析が可能であり、 試料の化学組成はもちろん、走査電子線と合わせて元素分布を評価する ことも可能である。
スペック
・電子銃： カソード型タングステンフィラメント
・SEM像分解能： 3.0 nm (加速電圧30 kV)、10 nm (3 kV)
・倍率： 5~300,000倍
・加速電圧： 0.3~30 kV
・最大試料サイズ： 200 mm径