チャンバー外観１。
チャンバー外観２
下図に構造の概略図を示す。青い線が金属テープである。
このチャンバーは三つの真空槽から構成されており、右側が金属テープを 送り出すリールが入った送出チャンバー、中央が超伝導膜を成膜する製膜チャンバー そして、左側が成膜された金属テープを受け取る巻取チャンバーである。
送出チャンバーから送り出された金属テープは、成膜チャンバー内部にあるヒータに よって加熱される。また、金属テープは三回折り返してヒータ上を通る構造になって おり、成膜領域が広く取れるために収率が高い。
超伝導層が成膜された金属テープは巻取チャンバー内の巻取リールに巻き取られる。
スペック
・設置可能ターゲット数： 3個（直径2インチ）
・到達真空度： 10-6 Torr以下
・ヒーター： Si-Cヒーター×2
・ヒーター最高温度：1,050oC
・最大金属テープ長：100 m
・最大線速：10 m/h
・金属テープレーン数：3 レーン
Reel to Reel チャンバーの構造概略図。