高分解能SPM外観。
コンタクトモード、セミコンタクト(タッピング)モードのAFM測定が可能であり、 プローブの交換によって広がり抵抗測定や磁化分布をナノメートルの分解能で 測定可能である。
また、大気中測定ではあるが、走査型トンネル顕微鏡 (STM: Scanning Tunneling Microscope) モードも搭載されており、走査トンネル分光測定も可能である。
上記の走査プローブ顕微鏡機能に加えてナノリソグラフ機能も有しており、 スクラッチおよび電圧印加による局所酸化によって、ナノサイズのパターンを形成することが 可能である。
スペック
・走査エリア： 100 nm~100 μm square
・測定可能形状： 10 μm以下の凹凸
・測定雰囲気、温度： 大気、室温
・z軸ノイズレベル： 0.03 nm
・測定可能モード： AFM、DFM (タッピングAFM)、SSRM、MFM、STM、STSなど
・ナノリソグラフ： スクラッチ、電圧印加