ICP装置の外観
破壊検査ではあるが、溶液中の元素濃度を正確に測定可能であるため、薄膜試料においては組成に加えて膜厚も計算可能である。
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ICP装置の外観
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この装置を用いて、薄膜や焼結体試料などの化学組成を正確に測定することが可能である。試料を希硝酸などに溶解させ誘導結合プラズマ(ICP)中に霧吹き状に噴霧すると、溶解した試料の構成元素が原子化・熱励起され、これが基底状態に戻る際の発光スペクトルから元素の同定・定量を行うことができる。 破壊検査ではあるが、溶液中の元素濃度を正確に測定可能であるため、薄膜試料においては組成に加えて膜厚も計算可能である。 |