ガラス基板上に、IBAD(Ion Beam Assist Deposition)法により配向させた薄膜層の作製、 及びその最適条件の探索を行います。
この層の上に機能性材料をエピタキシャル成長させることで、様々な物性の評価が 可能になります。 例えばガラスは熱伝導率が小さいですから、ガラス基板の上に膜を作製した場合 熱伝導率は基板の影響をあまり受けずに測定できるようになります。