長尺超伝導線材作製用チャンバー外観。
基本的な構造はYAGレーザー用Reel to Reelチャンバーと同じである。
このチャンバーは三つの真空槽から構成されており、右側が金属テープを 送り出すリールが入った送出チャンバー、中央が超伝導膜を成膜する製膜チャンバー そして、左側が成膜された金属テープを受け取る巻取チャンバーである。
送出チャンバーから送り出された金属テープは、成膜チャンバー内部にあるヒータに よって加熱される。金属テープは1レーンで搬送される。
超伝導層が成膜された金属テープは巻取チャンバー内の巻取リールに巻き取られる。
スペック
・設置可能ターゲット数： 6個（直径1インチ）
・到達真空度： 10-6 Torr以下
・ヒーター： Si-Cヒーター
・ヒーター最高温度：1,050oC
・最大金属テープ長：100 m
・最大線速：10 m/h
・金属テープレーン数：1 レーン