概要

昇温脱離ガス分析 (Thermal Desorption Spectrometry；TDS) 装置は、試料を高真空容器内で加熱・昇温し、昇温中に試料から脱離、発生するガス成分 を四重極質量分析計 (QMS)で検出します。

本研究室の所有するTDS装置の特徴として、以下の２つの点が挙げられます。

• 加熱速度範囲が室温から1800℃と、広範囲での測定が可能であること。
• 重水素（質量数：4.0282）とヘリウム（質量数：4.0026）の分別測定用として高分解能QMSが整備されていること。

本研究室が所有する他のプラズマ照射装置と組み合わせることで、プラズマ‐材料相互作用の調査を行っています。