■ 学位論文

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◆ 2022年

博士
氏名タイトル
田村 晃汰SnおよびSn-Bi-Li-Er合金の水素プラズマ相互作用に関する研究
修士
氏名タイトル
市川 景太高周波電極へ入射する高エネルギー粒子の角度分布計測
岩田 悠揮ガス流を用いた弱減圧形成が マイクロ波プラズマ生成に及ぼす影響
関 悠斗二周波容量結合型Ar/C4F8/O2パルスプラズマにおけるイオン組成時間変化の機構解明
濱口 育未バイアス印加による無磁場および有磁場 マイクロ波プラズマの高密度化
学士
氏名タイトル
赤塚 勇大表面波プローブ法を用いた二周波重畳容量結合型Ar/c-C4F8/O2パルスプラズマの電子密度時分解計測
川村 隼也二周波重畳容量結合型プラズマから電極へ入射する高速粒子の角度分布計測
村瀬 智也マイクロ波プラズマによるチタニア粉末の親水化処理装置の開発とチタニアの粉体供給実験

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◆ 2021年

博士
氏名タイトル
Bae HansinStudy on high-speed plasma-enhanced chemical vapor deposition of conductive carbon by microwave power
修士
氏名タイトル
小笠原 知裕大気圧長尺マイクロ波プラズマ源の高性能化と分子ガスを用いた表面処理応用
千葉 行徳絶縁ライナー内で生成されたプラズマへの接地金属面露出がプラズマ電位に及ぼす影響
疋田 和也表面波プラズマを用いた銀ナノ粒子の加熱溶融
山口 和也流動液体プラズマ処理装置を用いた銀ナノ粒子の高効率合成
学士
氏名タイトル
小川 泰那高密度マイクロ波プラズマにより処理した水の大腸菌殺菌能力評価
加藤 閣人質量分析法を用いた二周波重畳容量結合型Ar/c-C4F8/O2パルスプラズマにおけるフルオロカーボンイオンの時分解計測
原田 健汰高周波容量結合型プラズマにおいて電磁波により生じる周方向プラズマ不均一性の調査
柚木 健吾流動液体プラズマ装置を用いたAgナノ粒子合成の高収率化

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◆ 2020年

博士
氏名タイトル
森山 誠容量結合型プラズマ中における高アスペクト比ホール底部のチャージアップ挙動に関する研究
修士
氏名タイトル
Chu Manh Hung (G30)Heat Transfer in Atmospheric Pressure Microwave Line Plasma
鈴木 丈流動液体プラズマ処理装置を用いた銀ナノ粒子の安定合成
中原 尚哉二周波重畳容量結合型Ar/C4F8プラズマにおける高アスペクト比ホール底部の電荷密度評価
学士
氏名タイトル
市川 景太イメージング法を用いた基板入射高速粒子の角度分布計測
岩田 悠揮大気圧長尺マイクロ波プラズマ生成装置の改良による酸素添加プラズマの安定性の向上
関 悠斗大気圧質量分析器の開発とDC放電中クラスターイオン計測への応用
濱口 育未高密度マイクロ波プラズマを用いた高導電性炭素膜の広幅堆積

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◆ 2019年

修士
氏名タイトル
小間 浩嗣酸素添加大気圧長尺マイクロ波プラズマを用いた広幅樹脂の表面処理
田村 晃汰グロー放電水素プラズマを用いた金属スズの水素吸蔵量評価
馬場 賀己ガス流れを持つスロット励起大気圧マイクロ波プラズマの断面構造解析
福田 奨プラズマ電位制御型 マイクロ波プラズマCVDによる 接地基板上への酸化シリコン薄膜形成
三矢 晶洋電気絶縁型ファラデーカップ導入による 高周波電極入射イオンのエネルギー分布測定
楊 少菲流動液体プラズマ処理装置を用いた銀ナノ粒子生成における収率向上
学士
氏名タイトル
小笠原 知裕大気圧長尺マイクロ波プラズマを用いた樹脂表面処理における均一性の向上
千葉 行徳誘導結合型プラズマ装置の壁電位がプラズマ特性に及ぼす影響
疋田 和也マイクロ波プラズマCVDによる高電導性グラファイトの高速成膜

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◆ 2018年

修士
氏名タイトル
宇田川 洸表面波プラズマにおけるアンテナへのDCパルス電圧印加による接地基板表面へのイオン衝撃付与
石川 翔太スロット励起型大気圧マイクロ波プラズマを用いた有機物の高速除去
小池 洋右大気圧長尺マイクロ波放電におけるプラズマへの電力吸収機構
藤村 昇平リング状マイクロ波プラズマを用いたAgNO3水溶液流からのAgナノ粒子生成
Bae Hansin真空紫外吸収分光法を用いた大気圧マイクロ波ラインプラズマの酸素原子計測
学士
氏名タイトル
Chu Manh Hung (G30)Optimization of Waveguide Structure for Atmospheric Pressure Microwave Plasma via Simulations
椎貝 雅文流動液体プラズマ処理における銀ナノ粒子生成過程に関する研究
杉山 敦士大気圧での長尺マイクロ波プラズマを用いた大面積表面処理特性の評価
中原 尚哉電磁流体モデルによる二周波重畳容量結合プラズマの挙動解析

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◆ 2017年

博士
氏名タイトル
笹井 建典スロット励起高密度マイクロ波プラズマの生成と樹脂表面処理への応用に関する研究
修士
氏名タイトル
仙波 輝水流を用いた雰囲気ガス遮蔽下での大気圧マイクロ波水蒸気プラズマ生成とアッシングプロセスへの応用
田村 宥人導波管断面の非対称化によるスロット型長尺大気圧マイクロ波プラズマの生成
堤 和紀マイクロ波プラズマを用いた流体処理における溶質の吸収分光計測

学士
氏名タイトル
馬場 賀己同軸型大気圧マイクロ波プラズマ生成とギャップ内発光の顕微計測
福田 奨マイクロ波アンテナへのバイアス電圧印加による表面波プラズマの電位制御
三矢 晶洋DCマグネトロンスパッタにおける高エネルギーO-の軌道シミュレーション

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◆ 2016年

修士
氏名タイトル
巣山 拓ITOマグネトロンスパッタにおける高エネルギー酸素負イオンフラックスの絶対評価
滝藤 奨流体へのプラズマ照射における液中反応促進とその要因
山本 匡毅スロットアンテナ型マイクロ波放電を用いたプラズマCVDの基礎研究

学士
氏名タイトル
石川 翔太大気圧マイクロ波プラズマ気相成長による酸化シリコン膜堆積と膜質評価
猪俣 弥雄起進行波型大気圧マイクロ波放電におけるプラズマ密度の自律的均一化機構
宇都宮 夏来導波管へのバイアス電圧印加による表面波プラズマの電位制御
小池 洋右水流を援用した大気遮蔽型マイクロ波プラズマ装置の設計
藤村 昇平空間分解型吸収分光装置を用いたプラズマによる有機溶質分解過程の調査

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◆ 2015年

博士
氏名タイトル
鈴木 陽香非熱平衡大気圧マイクロ波放電を用いた長尺高密度プラズマに関する研究
修士
氏名タイトル
古賀 翔太誘電体を援用した小断面積・長尺マイクロ波放電におけるプラズマ均一性の向上
瀬高 健太ITOスパッタ成膜における高エネルギー負イオンフラックスの基板加熱への寄与
西川 拓マイクロ波放電を用いた無電極高圧水銀ランプの輝度向上と長尺化
福井 崇史VHF電力重畳DCマグネトロンスパッタによるITO膜平坦性の向上

学士
氏名タイトル
仙波 輝周期溝構造を利用したプラズマアレイの生成と水処理への応用
新實 敏樹流体処理用マイクロ波プラズマにおける水由来活性種の分光計測
M田 大地分子ガスを用いた長尺スロット型大気圧マイクロ波プラズマの生成とその特性評価

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◆ 2014年

修士
氏名タイトル
鷹羽 貴史電解質溶液を電極としてパルスDCプラズマにおける金属原子放出過程の基礎研究
中野 優大気圧マイクロ波プラズマを用いた幅広表面処理装置の基礎特性
萩原 敏哉表面波プラズマ支援によるMgOの低エネルギーRFスパッタと薄膜評価
福岡 侑士VHF電力重畳によるDCマグネトロンプラズマ制御とスパッタ膜特性向上
藤井 良隆粒子計測およびシミュレーションによる臭化水素プラズマ中の反応過程の検討

学士
氏名タイトル
杉岡 諒一周波数変調を応用したマイクロ波プラズマ空間分布制御法の基礎的検討
滝藤 奨インライン型マイクロ波プラズマ液体処理装置の性能向上
山本 匡毅大気圧マイクロ波プラズマを用いた気相成長法の基礎的検討

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◆ 2013年

博士
氏名タイトル
飯野 大輝臭化水素誘導結合型プラズマにおける臭素ラジカルの表面損失過程に関する研究
修士
氏名タイトル
江頭 一輝大気圧パルスマイクロ波放電における放電休止時間が電子密度に及ぼす影響
小川 勇人VHF-パルスDC重畳スパッタにおける高エネルギーO-イオンの制御
近藤 将吾誘電体露出を抑制した新規アンテナによるメートル長マイクロ波プラズマの生成
高橋 朋大パルスマイクロ波プラズマを用いた連続流体処理装置の開発
野田 智紀マイクロ波プラズマ支援無磁場スパッタにおける酸素負イオンエネルギーの計測

学士
氏名タイトル
古賀 翔太コンパクトUHFプラズマ源の開発
瀬高 健太液中プラズマを用いた電気めっき技術の基礎研究
西川 拓マイクロ波プラズマを用いた長尺紫外光源の開発
森 裕二郎マイクロ波領域におけるセラミクスの誘電率評価

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◆ 2012年

修士
氏名タイトル
大池 匠誘導結合型HBrプラズマ中のBr原子計測
鈴木 陽香マイクロ波液中気泡内における大気圧パルスプラズマの基礎研究
中坊 将人マイクロ波プラズマを用いた無磁場スパッタ装置の基礎研究
村瀬 卓也Ar及びN2ガスを用いた大気圧パルスマイクロ波プラズマの時間変化

学士
氏名タイトル
鷹羽 貴史液体電極を用いた大気圧パルスプラズマにおける液相由来原子の吸収分光計測
中野 優コンパクトアンテナ型マイクロ波プラズマ源を用いたシリコン薄膜形成
藤井 良隆誘導結合HBrプラズマにおけるBr原子表面反応確率の評価

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◆ 2011年

修士
氏名タイトル
池田 昌平ガス流れを用いたSiH4/H2プラズマ中のSiH3ラジカル分布制御
伊藤 裕紀マイクロ波SiH4プラズマCVDにおけるアンテナ構造改良とシリコン膜特性向上
金武 浩司マイクロ波液中プラズマによる有機物の高速分解処理
毛家村 一樹ガス流を用いた膜堆積抑制の基礎実験
澤口 陽介質量分析による大気圧マイクロ波プラズマ中活性種の測定

学士
氏名タイトル
小川 勇人ラジカル生成断面積測定の高精度化
近藤 将吾コンパクトアンテナ構造を用いたマイクロ波プラズマ生成
野田 智紀数値シミュレーションを援用したマイクロ波重畳スパッタ装置の設計

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◆ 2010年

修士
氏名タイトル
宇佐見 健二マイクロ波プラズマ処理による銅/ポリイミド界面の密着性向上とその安定化
鎌田 安住大気圧マイクロ波プラズマの電界及び電子密度の時空間分解計測
黒田 俊之出現質量分析におけるラジカル絶対密度測定の高精度化
齊藤 耕平CH2F2分子への電子衝突によるラジカル生成断面積の測定
坂井 淳二新規アンテナを用いたSiH4/H2マイクロ波プラズマCVDによるシリコン膜特性向上

学士
氏名タイトル
鈴木 陽香マイクロ波液中プラズマの生成過程の時分解計測
中坊 将人数値シミュレーションを用いたマグネトロンプラズマ中の高エネルギー粒子挙動の解析
村瀬 卓也吸収分光法による大気圧短パルス放電中のオゾン計測

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◆ 2009年

修士
氏名タイトル
浅野 弘嗣915 MHz表面波SiH4/H2プラズマを用いた微結晶シリコン製膜における高付着性ラジカルの評価
齋藤 良太パルスマイクロ波による液中気泡内でのプラズマ生成とその応用
楊 海鵬大気圧パルスマイクロ波プラズマの時分解発光分光計測

学士
氏名タイトル
池田 昌平SiH4/H2マイクロ波プラズマCVDにおける薄膜及び気相粒子種の評価
伊藤 裕紀10 GHzマイクロ波プラズマ装置の開発と応用
金武 浩司プラズマ生成用アンテナの最適化
毛家村 一樹高密度プラズマを用いたフィルム上へのカーボン薄膜コーティング

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◆ 2008年

博士
氏名タイトル
Gyu Il ShimBasic Study on Electrostatic Chucks for Thin Films Plasma Processing

修士
氏名タイトル
石川 喬介高密度プラズマを用いた立体形状樹脂の高速均一処理
遠藤 広孝高密度プラズマを用いた微結晶シリコン堆積におけるSiH4解離過程
杉浦 宏康マイクロ波液中プラズマによる有機物の高速分解処理
郡上 祐一表面波プラズマを用いた高分子フィルムの高速表面処理

学士
氏名タイトル
後藤 和也RFマグネトロンプラズマ中の負イオンエネルギー分布計測
齊藤 耕平TiCl4の電子衝突解離によるラジカル生成断面積の測定
坂井 淳二マイクロ波高密度大気圧プラズマ源の開発

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◆2007年

博士
氏名タイトル
Nicolas HoltzerIon Dose Control under Sheath-Lens Effect in Plasma Ion Implantation
中尾 禎子大面積薄膜プロセス用マイクロ波プラズマの基礎研究

修士
氏名タイトル
高西 雄大大面積薄膜形成用マイクロ波プラズマ装置の開発
林 孝信マイクロ波プラズマCVD法を用いた微結晶シリコン製膜における膜特性向上
山口 雄矢水素生成酸化物セラミクスのプラズマ・表面相互作用

学士
氏名タイトル
粂 進介プロセスガス分子用解離断面積測定装置の開発
柳楽 和宏マイクロ波プラズマ生成におけるアンテナ構造の最適化
前田 和広マイクロ波プラズマCVD法によるシリコン系薄膜の堆積と光学・電気特性評価

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