薄膜表面形状および磁気構造を測定します.プローブ位置を制御した微細加工も可能です.
装置仕様
Digital Instruments社製 Dimeinsion3100+Nonoscope IV 測定モード AFM(コンタクト,タッピング,ノンコンタクト) STM,MFM,EFM,LFM 表面電位顕微鏡,電流像,リソグラフィー スキャン領域:XY方向 約90μm,Z方向 約6μm 試料サイズ:最大150 mmφ−12 mmt 防音フード有
もどる