テクノ・シンポジウム名大
「プラズマナノ工学研究センター」設立シンポジウム

日　時：平成18年12月14日（木）

場　所：名古屋大学 ＩＢ電子情報館　大講義室（定員300名）
　　　　（地下鉄名城線「名古屋大学」駅下車，３番出口すぐ）

事前参加申込不要，参加費無料

主　催：名古屋大学工学研究科　　プラズマナノ工学研究センター
　　　　（財）日比科学技術振興財団
共　催：21世紀ＣＯＥプログラム「先端プラズマ科学が拓くナノ情報デバイス」
　　　　 愛知・名古屋地域知的クラスター創成事業
　　　　 応用物理学会東海支部
後　援：中部経済産業省　（社）中部経済連合会　名古屋商工会議所
　　　　（財）名古屋産業科学研究所中部ＴＬＯ　（財）中部科学技術センター
　　　　（財）科学技術交流財団　東海ものづくり創生協議会
　　　　　(依頼中をふくむ)

プログラム：

1．挨拶 (9:30- 9:45)
　　　　主催者代表　名古屋大学工学研究科長　　　澤木宣彦
　　　　名古屋大学　総長　　　　　　　　　　　　　　　　平野眞一
　　　　プラズマナノ工学研究センター　センター長　 菅井秀郎

2．センターの概要 (9:45-10:15)
　　　　プラズマナノ工学研究センター　センター長　菅井秀郎

3．特別講演　(10:15-11:00)
　　　　「半導体技術の将来動向と産学官連携戦略」
　　　　　　産業技術総合研究所 次世代半導体研究センター長 　廣瀬全孝

4．来賓講演　(11:00-11:50)
　　　・「プラズマ装置産業の動向と産学連携への期待」
　　　　　　東京エレクトロン（株）　技術開発センター長　保坂重敏
　　　・「知的クラスター創成事業と地域連携への期待」
　　　　　　愛知・名古屋地域知的クラス ター事業本部長　石丸典生

＜昼食＞ (11:50-13:10)

5．センターにおける学術研究　(13:10-15:40)
　　　・「プラズマによるモノづくりの学術基盤形成」
　　　　　　河野明廣 （電子情報システム専攻 教授）
　　　・「プラズマを用いた絶縁膜／シリコン界面のナノスケール制御」
　　　　　　財満鎮明 （結晶材料工学専攻 教授）
　　　・「先進プラズマプロセス技術の研究開発」
　　　　　　堀　　 勝 （電子情報システム専攻 教授）
　　　・「プラズマによる表面改質とその応用」
　　　　　　高井　治 （マテリアル理工学専攻 教授）
　　　・「プラズマCVDを用いたカーボンナノチューブの成長とFETへの応用」
　　　　　　水谷　孝　（量子工学専攻 教授）
　　　・「ナノバイオデバイスの研究開発」
　　　　　　馬場嘉信　（化学・生物工学専攻 教授）

＜休憩＞　　(15:40-16:00)

6. 産業界との連携協力 (16:00-16:40)
　　　・「センターにおける産学連携の推進」
　　　　　　菅井秀郎　（センター長）
　　　・「プラズマプロセスの将来ビジョンとセンターの役割」
　　　　　　林　俊雄（センター特任教授）
　　　　　　関根　誠（センター特任教授）

7. 総合討論　(16:40-17:00)

終了 (17:00)

交流会　（17:30〜19:30 学内）

問い合わせ先：
　　　　センター事務担当　磯輪祐子
　　　　Tel:052-789-5272　E-mail:isowa@nuee.nagoya-u.ac.jp